[实用新型]MEMS声传感器

权利要求书

1.一种MEMS声传感器，其包括具有腔体的基底以及固定在基底上的若干结构层，每一所述结构层包括固定于所述基底的固定端以及自所述固定端延伸至悬置于所述腔体上方的悬置端，其特征在于，所述悬置端与所述基底间隔和/或相邻所述悬置端间隔形成狭缝，所述MEMS声传感器还包括设于所述悬置端上的压电功能层以及完全覆盖所述狭缝的柔性连接件，所述柔性连接件的杨氏模量小于所述结构层的杨氏模量。

2.根据权利要求1所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述基底为矩形，所述结构层为一个，所述固定端固定于所述基底沿长轴或沿短轴的一边，所述悬置端与所述基底的另外三边相对间隔形成所述狭缝，所述柔性连接件连接所述悬置端与所述基底并完全覆盖所述狭缝。

3.根据权利要求1所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述基底为矩形，所述结构层为两个，所述基底相对设置的两边各固定有一个所述固定端，两个所述悬置端相对延伸且相互间隔，所述悬置端与所述基底相对间隔形成第一狭缝以及所述悬置端相对间隔形成第二狭缝，所述第一狭缝与所述第二狭缝连通。

4.根据权利要求3所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述柔性连接件包括完全所述覆盖所述第一狭缝的第一连接件和完全覆盖所述第二狭缝的第二连接件，所述第一连接件连接所述悬置端与所述基底，所述第二连接件连接所述相邻两个所述悬置端，所述第一连接件与所述第二连接件连接设置。

5.根据权利要求1所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述基底为矩形，所述结构层为四个且均呈三角形，所述基底的每一边各固定有一个所述固定端，四个所述悬置端相互间隔设置，所述狭缝沿所述基底的两条对角线延伸。

6.根据权利要求5所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述结构层呈直角三角形，所述结构层沿斜边的一侧固定于所述基底形成所述固定端，四个所述结构层的直角尖端相对间隔设置。

7.根据权利要求1所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述MEMS声传感器还包括收容于所述腔体内并与所述基底间隔设置的质量块，所述基底与所述质量块为同心矩形，所述结构层为四个，所述基底每一边各固定有一个固定部，所述悬置端自所述固定部朝向所述质量块延伸至与所述质量块间隔设置，所述狭缝包括相邻两个悬置端间隔形成的第二狭缝以及所述悬置端与所述质量块之间的第三狭缝，所述第二狭缝自所述质量块的角部位置延伸至所述基底的角部位置。

8.根据权利要求7所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述柔性连接件包括覆盖所述第二狭缝的第二连接件以及覆盖所述第三狭缝的第三连接件，四个所述第三连接件首尾相连围设形成环状矩形，所述第二连接件固定于相邻两个所述第三连接件的连接处。

9.根据权利要求7所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述柔性连接件呈平板状。

10.根据权利要求7所述的MEMS声传感器，其特征在于，所述柔性连接件包括与所述基底固定的第一固定部、与所述悬置端固定的第二固定部以及连接所述第一固定部和所述第二固定部的柔性部，所述柔性部沿所述结构层的振动方向的截面呈弧形或三角形或矩形，所述结构层还包括自所述悬置端远离所述固定端的端部向所述质量块延伸至固定于所述质量块的柔性连接结构，所述柔性连接结构位于所述悬置端靠近所述第二狭缝的两端。