[实用新型]MEMS声传感器

说明书

本实用新型提供了一种MEMS声传感器MEMS声传感器，其包括具有腔体的基底以及固定在基底上的若干结构层，每一所述结构层包括固定于所述基底的固定端以及自所述固定端延伸至悬置于所述腔体上方的悬置端，所述悬置端与所述基底间隔和/或相邻所述悬置端间隔形成狭缝，所述MEMS声传感器还包括设于所述悬置端上的压电功能层以及完全覆盖所述狭缝的柔性连接件，所述柔性连接件的杨氏模量小于所述结构层的杨氏模量。与相关技术相比，本实用新型的MEMS声传感器声学性能好。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种运用于便携式电子产品的MEMS声传感器。

【背景技术】

声传感器作为手机等移动终端的主要元器件之一，其主要用于将电信号传换成声音信号。

MEMS声传感器(Micro-Electro-Mechanical System)，即微机电系统声传感器，其相对于传统的音圈式扬声器具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势，主要包括平面式和立体式结构。平面式架构中驱动器与振动发声组件耦合在一起。相关技术中，平面式的MEMS声传感器通常包括基底、固定在基底上的振膜以及固定在振膜上的压电功能层，压电功能层通电后产生形变，带动振膜振动发声。

然而，相关技术的MEMS声传感器中，压电功能层包括压电板以及设于压电板上下表面的电极层，振膜因压电板的变形而振动并形成与压电功能层固定的第一区域和间隔的第二区域，该MEMS声传感器还包括形成在电极层上的聚合物层，其中聚合物层的杨氏模量比压电板的杨氏模量小，这使得相关技术中的压电功能层的面积范围完全限制在了基底的空腔范围内，其可驱动振动的振膜面积也受到限制，导致MEMS声传感器的声学性能无法进一步提升。

因此，有必要提供一种新的MEMS声传感器解决上述技术问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种声学性能好的MEMS声传感器。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种MEMS声传感器，其包括具有腔体的基底以及固定在基底上的若干结构层，每一所述结构层包括固定于所述基底的固定端以及自所述固定端延伸至悬置于所述腔体上方的悬置端，所述悬置端与所述基底间隔和/或相邻所述悬置端间隔形成狭缝，所述MEMS声传感器还包括设于所述悬置端上的压电功能层以及完全覆盖所述狭缝的柔性连接件，所述柔性连接件的杨氏模量小于所述结构层的杨氏模量。

优选的，所述基底为矩形，所述结构层为一个，所述固定端固定于所述基底沿长轴或沿短轴的一边，所述悬置端与所述基底的另外三边相对间隔形成所述狭缝，所述柔性连接件连接所述悬置端与所述基底并完全覆盖所述狭缝。

优选的，所述基底为矩形，所述结构层为两个，所述基底相对设置的两边各固定有一个所述固定端，两个所述悬置端相对延伸且相互间隔，所述悬置端与所述基底相对间隔形成第一狭缝以及所述悬置端相对间隔形成第二狭缝，所述第一狭缝与所述第二狭缝连通。

优选的，所述柔性连接件包括完全所述覆盖所述第一狭缝的第一连接件和完全覆盖所述第二狭缝的第二连接件，所述第一连接件连接所述悬置端与所述基底，所述第二连接件连接所述相邻两个所述悬置端，所述第一连接件与所述第二连接件连接设置。

优选的，所述基底为矩形，所述结构层为四个且均呈三角形，所述基底的每一边各固定有一个所述固定端，四个所述悬置端相互间隔设置，所述狭缝沿所述基底的两条对角线延伸。

优选的，所述结构层呈直角三角形，所述结构层沿斜边的一侧固定于所述基底形成所述固定端，四个所述结构层的直角尖端相对间隔设置。