[实用新型]一种离子注入机磨砂靶盘底座有效
| 申请号： | 202121453644.8 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN215418095U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 宋戈 | 申请（专利权）人： | 上海羽辰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 陈万江 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区金皖路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 磨砂 盘底 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入机磨砂靶盘底座，包括底座和安装于底座上的固定柱，其特征在于，所述底座的一侧设置有弹性限位组件，所述弹性限位组件包括挡块、活动块、第一弹性限位件、第二弹性限位件和第三弹性限位件，所述挡块固接于底座上，所述第一弹性限位件和第二弹性限位件平行并列安装于挡块与活动块之间，所述第一弹性限位件和第二弹性限位件的两端分别与挡块与活动块固接，所述活动块远离挡块的一端可拆卸连接第三弹性限位件，所述弹性限位组件用于从硅片外侧将硅片压紧在所述固定柱上。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机磨砂靶盘底座，其特征在于，所述第一弹性限位件和第二弹性限位件均为弹簧。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入机磨砂靶盘底座，其特征在于，所述第三弹性限位件为弹片，所述弹片呈月牙型结构。
4.根据权利要求3所述的一种离子注入机磨砂靶盘底座，其特征在于，所述弹片的外侧包裹有柔性材料。
5.根据权利要求4所述的一种离子注入机磨砂靶盘底座，其特征在于，所述柔性材料采用塑胶材料制成。
6.根据权利要求3所述的一种离子注入机磨砂靶盘底座，其特征在于，所述弹片的上下侧均开设有安装槽，所述活动块上设置有与安装槽相匹配的螺纹限位孔。
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