[实用新型]一种晶圆片尺寸检测仪器

权利要求书

1.一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：包括基座、设置在基座顶部用于放置晶圆片的载物盘以及用于测量晶圆片尺寸的直径检测结构与厚度检测结构，所述的直径检测结构包括若干个第一测距装置以及环绕载物盘设置在基座顶端面的两横向导轨与两纵向导轨，若干个所述的第一测距装置两两相对设置并滑动安装在两横向导轨或者两纵向导轨上且高度与晶圆片放置位置相对应，所述的厚度检测结构包括设置在载物盘上方的第二测距装置以及用于固定第二测距装置的固定架，所述固定架的底部与基座相固定且位于直径检测结构外侧。

2.如权利要求1所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：所述的第一测距装置为激光测距传感器或者红外测距传感器。

3.如权利要求2所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：还包括用于处理测距数据的处理设备，所述的处理设备与第一测距装置之间通信连接。

4.如权利要求1所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：所述的两横向导轨与两纵向导轨均为电动滑轨。

5.如权利要求1所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：所述的第二测距装置为数显千分表或者激光测距传感器或者红外测距传感器。

6.如权利要求1所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：所述的固定架包括竖直固定在基座上的伸缩杆以及水平设置的第一转动臂与第二转动臂，所述第一转动臂的两端分别与伸缩杆顶部以及第二转动臂转动连接，所述的第二测距装置固设在第二转动臂远离第一转动臂的末端上。

7.如权利要求1所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：还包括用于移送晶圆片的机械手。

8.如权利要求1所述的一种晶圆片尺寸检测仪器，其特征在于：所述载物盘的顶部均匀开设有若干个抽气孔，所述的抽气孔通过抽气管与抽真空装置相连通。