[实用新型]一种多温区开合晶体炉

权利要求书

1.一种多温区开合晶体炉,其特征在于,包括开闭设置的炉体(1)，所述炉体(1)内竖直设有加热腔体(2)，所述加热腔体(2)的两端设有开口(21)；所述加热腔体(2)内竖直设有多组串联的电阻线圈(3)；每组所述电阻线圈(3)上位于所述炉体(1)外端设置有接线端(4)；所述接线端(4)上设有控制开关；所述炉体(1)内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体(1)温度的温度测量元件(5)；所述炉体(1)的一端设置有用于对闭合的所述炉体(1)进行锁紧的锁紧装置(6)。

2.根据权利要求1所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述炉体(1)包括第一半圆柱体(11)和第二半圆柱体(12)，所述第一半圆柱体(11)的一端铰接于所述第二半圆柱体(12)的一端；所述第一半圆柱体(11)的另一端通过所述锁紧装置(6)与所述第二半圆柱体(12)的另一端锁紧。

3.根据权利要求2所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述第一半圆柱体(11)内设有凹槽(111)，所述凹槽(111)位于所述圆柱腔体两侧；所述第二半圆柱体(12)内设有凸起(121)，所述凸起(121)位于所述圆柱腔体两侧；所述凹槽(111)通过所述炉体(1)的闭合来与所述凸起(121)嵌合。

4.根据权利要求2所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述第一半圆柱体(11)和所述第二半圆柱体(12)为不锈钢材料。

5.根据权利要求1所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述控制开关为用于控制输出功率的可控硅控制器。

6.根据权利要求5所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，多组所述电阻线圈(3)串联连接以将所述加热腔体(2)分隔成多温区；所述温度测量元件(5)为热电偶，所述热电偶分别设于每个所述温区内。

7.根据权利要求2所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述锁紧装置(6)包括铰接于所述第二半圆柱体(12)上的扣板(71)和设于所述第一半圆柱体(11)上的挂钩(72)，所述扣板(71)的端部设有与所述挂钩(72)扣接的扣环(73)。

8.根据权利要求7所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述扣环(73)之间通过竖直拉杆(74)连接。

9.根据权利要求1所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，还包括用于对所述开口(21)进行密封的密封盖板(7)。

10.根据权利要求1或6所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述电阻线圈(3)为螺旋结构。