[实用新型]一种多温区开合晶体炉

说明书

本实用新型公开了一种多温区开合晶体炉，包括开闭设置的炉体，所述炉体内竖直设有加热腔体，所述加热腔体的两端设有开口；所述加热腔体内竖直设有多组串联的电阻线圈；每组所述电阻线圈上位于所述炉体外端设置有接线端；所述接线端上设有控制开关；所述炉体内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体温度的温度测量元件；通过在设置可开闭的炉体，以实现对单晶炉进行打开和闭合，工件装炉可视化，便于对炉体内的工件进行操作，炉膛保温性能和隔热节能性好，晶体成品率高，且电阻线圈安装和拆卸方便，便于日常维护和炉膛清理；同时，通过设置多组电阻线圈，以结合控制开关来控制输出功率，以实现对炉膛内的电阻线圈进行多温区加热，温度控制灵活性高。

技术领域

本实用新型涉及晶体炉技术领域，具体涉及一种多温区开合晶体炉。

背景技术

单晶硅棒的生产方式为，将原料放入单晶炉的炉膛内，之后将原料加热融化，再将棒状籽晶浸入熔液中，在合适的温度下，熔液中的硅原子会在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体；部分化合物晶体，则采用VB、VGF等多温区方式生产单晶棒，但限于加热方式的限制，炉体一般为封闭形式的，不可以打开和闭合，装料的过程不可视，不便于炉膛内日常的维护和清理，增加了单晶生产工作的操作复杂型，不利于生产过程的精确量化控制，晶体成品率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述技术中存在的不足之处，提出一种多温区开合晶体炉，旨在解决上述单晶炉不可打开和闭合，维护和清理效率低的问题。

本实用新型提供了一种多温区开合晶体炉，包括开闭设置的炉体，所述炉体内竖直设有加热腔体，所述加热腔体的两端设有开口；所述加热腔体内竖直设有多组串联的电阻线圈；每组所述电阻线圈上位于所述炉体外端设置有接线端；所述接线端上设有控制开关；所述炉体内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体温度的温度测量元件；所述炉体的一端设置有用于对闭合的所述炉体进行锁紧的锁紧装置。

进一步地，所述炉体包括第一半圆柱体和第二半圆柱体，所述第一半圆柱体的一端铰接于所述第二半圆柱体的一端；所述第一半圆柱体的另一端通过所述锁紧装置与所述第二半圆柱体的另一端锁紧。

进一步地，所述第一半圆柱体内设有凹槽，所述凹槽位于所述圆柱腔体两侧；所述第二半圆柱体内设有凸起，所述凸起位于所述圆柱腔体两侧；所述凹槽通过所述炉体的闭合来与所述凸起嵌合。

进一步地，所述第一半圆柱体和所述第二半圆柱体为不锈钢材料。

进一步地，所述控制开关为用于控制输出功率的可控硅控制器。

进一步地，多组所述电阻线圈串联连接以将所述加热腔体分隔成多温区；所述温度测量元件为热电偶，所述热电偶分别设于每个所述温区内。

进一步地，所述锁紧装置包括铰接于所述第二半圆柱体上的扣板和设于所述第一半圆柱体上的挂钩，所述扣板的端部设有与所述挂钩扣接的扣环。

进一步地，所述扣环之间通过竖直拉杆连接。

进一步地，还包括用于对所述开口进行密封的密封盖板。

进一步地，所述电阻线圈为螺旋结构。

相对现有技术，具有以下有益效果：

本实用新型提供了一种多温区开合晶体炉，通过在设置可开闭的炉体，以实现对单晶炉进行打开和闭合，工件装炉可视化，便于对炉体内的工件进行操作，炉膛保温性能和隔热节能性好，晶体成品率高，且电阻线圈安装和拆卸方便，便于日常维护和炉膛清理；同时，通过设置多组电阻线圈，以结合控制开关来控制输出功率，以实现对炉膛内的电阻线圈进行多温区加热，温度控制灵活性高。

附图说明