[实用新型]间距调节机构及成排硅片移载机构

权利要求书

1.一种间距调节机构，其特征在于，包括：

固定板(310)；

导轨支架(330)，固定于所述固定板(310)一侧；所述导轨支架(330)包括横向导轨(331)和竖向导轨(332)；

多个取物组件(340)，可活动地设于所述导轨支架(330)上，所述取物组件(340)能够沿着所述横向导轨(331)移动；以及

活动板(320)，可活动地设于所述导轨支架(330)上，所述活动板(320)能够沿着所述竖向导轨(332)移动；

所述活动板(320)开设有多个沿所述活动板(320)的竖向延伸的条形的导向孔(321)，多个所述导向孔(321)呈扇形发散分布；

所述取物组件(340)包括朝向所述活动板(320)设置的导柱(341)，所述导柱(341)一一对应地插入所述导向孔(321)内，并能够在所述导向孔(321)内移动。

2.根据权利要求1所述的间距调节机构，其特征在于，还包括驱动机构(350)，所述驱动机构(350)连接所述活动板(320)以驱动所述活动板(320)沿着所述竖向导轨(332)移动。

3.根据权利要求2所述的间距调节机构，其特征在于，所述驱动机构(350)包括调距电机(351)、丝杠(352)以及丝杠螺母(353)，所述调距电机(351)的输出轴连接所述丝杠(352)以驱动所述丝杠(352)转动，所述丝杠螺母(353)套设于所述丝杠(352)外侧并与所述丝杠(352)螺纹配合，所述活动板(320)固定连接所述丝杠螺母(353)。

4.根据权利要求3所述的间距调节机构，其特征在于，所述驱动机构(350)还包括电机支架(354)以及联轴器(355)，所述电机支架(354)固定于所述固定板(310)，所述调距电机(351)固定于所述电机支架(354)，所述联轴器(355)设于所述调距电机(351)的输出轴和所述丝杠(352)之间并连接所述调距电机(351)的输出轴和所述丝杠(352)。

5.根据权利要求1所述的间距调节机构，其特征在于，所述取物组件(340)还包括立杆(342)、横向滑块(343)以及吸盘组件(344)，所述横向滑块(343)固定于所述立杆(342)一侧，所述横向滑块(343)与所述横向导轨(331)滑动配合，所述导柱(341)设于所述立杆(342)上背离所述横向滑块(343)的一侧，所述吸盘组件(344)设置于所述立杆(342)靠下的一端。

6.根据权利要求1所述的间距调节机构，其特征在于，所述导柱(341)外套设有导套(3411)，所述导套(3411)采用金属材料制成。

7.根据权利要求1所述的间距调节机构，其特征在于，所述活动板(320)固定连接有竖向滑块(322)，所述竖向滑块(322)与所述竖向导轨(332)滑动配合。

8.一种成排硅片移载机构，其特征在于，包括平移机构(100)、竖移机构(200)以及如权利要求1-7任意一项所述的间距调节机构(300)，所述竖移机构(200)设置于所述平移机构(100)上，所述间距调节机构(300)设置于所述竖移机构(200)上，所述平移机构(100)能够带动所述间距调节机构(300)在水平方向上移动，所述竖移机构(200)能够带动所述间距调节机构(300)在竖直方向上移动。

9.根据权利要求8所述的成排硅片移载机构，其特征在于，所述平移机构(100)包括第一电机(110)、第一直线导轨(120)以及第一滑块(130)，所述第一直线导轨(120)沿水平方向设置且设置于所述第一电机(110)一端，所述第一滑块(130)可活动地设于所述第一直线导轨(120)上，所述第一电机(110)能够控制所述第一滑块(130)沿着所述第一直线导轨(120)移动，所述竖移机构(200)设置于所述第一滑块(130)上。

10.根据权利要求8所述的成排硅片移载机构，其特征在于，所述竖移机构(200)包括第二电机(210)、第二直线导轨(220)以及第二滑块(230)，所述第二直线导轨(220)沿竖直方向设置且设置于所述第二电机(210)一端，所述第二滑块(230)可活动地设于所述第二直线导轨(220)上，所述第二电机(210)能够控制所述第二滑块(230)沿着所述第二直线导轨(220)移动，所述间距调节机构(300)设置于所述第二滑块(230)上。