[实用新型]一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构有效
申请号: | 202121471029.X | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN215163091U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 薛蒙晓 | 申请(专利权)人: | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人: | 赵成磊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸镀机 轨道 保护 结构 | ||
1.一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,所述镀锅轨道保护结构(1)位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道(2)的下方,镀锅轨道保护结构(1)和镀锅圆环形轨道(2)均位于真空蒸镀机的腔室的上部,镀锅圆环形轨道(2)为圆环形的水平轨道,镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道(2)进行自转和公转,所述镀锅轨道保护结构(1)包括底面(11)、内侧面(12)和外侧面(13),所述底面(11)为水平的圆环形薄片,内侧面(12)与外侧面(13)为分别垂直固定在底面(11)的里边沿与外边沿上的圆环形薄片,镀锅圆环形轨道(2)设置在镀锅轨道保护结构(1)内,内侧面(12)与外侧面(13)之间的距离大于镀锅圆环形轨道(2)的宽度,内侧面(12)和外侧面(13)的高度大于等于镀锅圆环形轨道(2)的厚度。
2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,所述底面(11)的宽度大于镀锅圆环形轨道(2)的宽度,底面(11)位于镀锅圆环形轨道(2)的下方。
3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,底面(11)与镀锅圆环形轨道(2)之间具有间隙或者不具有间隙。
4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,内侧面(12)与外侧面(13)的高度相同或者不相同。
5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,内侧面(12)与外侧面(13)的高度相同,并且内侧面(12)和外侧面(13)的高度等于镀锅圆环形轨道(2)的厚度。
6.如权利要求4所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,内侧面(12)和/或外侧面(13)与镀锅圆环形轨道(2)之间具有间隙。
7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,内侧面(12)与外侧面(13)之间的距离比镀锅圆环形轨道(2)的宽度大1-20mm。
8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,镀锅轨道保护结构(1)为一个整个或者由多段拼接而成。
9.如权利要求8所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,镀锅轨道保护结构(1)由多段拼接而成,镀锅轨道保护结构(1)被均匀的分为多个圆弧段。
10.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构,其特征在于,镀锅轨道保护结构(1)和镀锅圆环形轨道(2)与真空蒸镀机的腔室的上方面板、侧面面板、或者底面面板固定。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司,未经苏州佑伦真空设备科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121471029.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双面快递柜
- 下一篇:慢性腰痛患者躯干肌肌力训练装置
- 同类专利
- 专利分类