[实用新型]一种固化炉有效
| 申请号： | 202121485436.6 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215695519U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 孙志;陈海虎;曾昭孔;陈武伟 | 申请（专利权）人： | 苏州通富超威半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固化 | ||
【权利要求书】：
1.一种固化炉，其特征在于，包括：
炉体；以及
至少两组以并联运行方式被使用的增压机构，各组增压机构均包括增压缸，各增压缸分别与气源连通形成吸气回路，并在各吸气回路上设置控制阀，且各增压缸分别与所述炉体的内部连通形成排气回路。
2.根据权利要求1所述的固化炉，其特征在于，各组增压机构均包括继电器，各增压缸分别通过继电器与控制器连接。
3.根据权利要求2所述的固化炉，其特征在于，所述炉体的内部设置有压力检测器，所述压力检测器连接所述控制器，且所述控制器分别与所述控制阀相连接。
4.根据权利要求1所述的固化炉，其特征在于，所述气源为氮气。
5.根据权利要求1所述的固化炉，其特征在于，各组增压机构共用气源，各吸气回路通过多通路接头连接所述气源。
6.根据权利要求1所述的固化炉，其特征在于，所述控制阀为电磁阀。
7.根据权利要求1所述的固化炉，其特征在于，所述炉体包括炉壁和中空炉室，所述炉室内设有加热板和载物台；所述炉壁上设有连通中空炉室的通气口，所述通气口与所述排气回路连通。
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