[实用新型]一种伯努利吸盘装置

说明书

本实用新型公开了一种伯努利吸盘装置，包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位。本实用新型可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业自动化设备技术领域，更具体地，涉及一种伯努利吸盘装置。

背景技术

针对一些厚度薄且极其精密和脆弱的工件物料，如半导体行业的晶圆、光伏行业中的电池片等，不适合手工操作，效率低且影响产品加工品质，因此，需要有吸盘装置匹配机械手等移料机构来实现物料的上下料操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种伯努利吸盘装置，能在上料时将物料顶起至料槽上，也能实现料槽上的物料的下料。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种伯努利吸盘装置，包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位。

进一步的，所述伯努利吸盘分为治具吸盘和物料吸盘，且所述物料吸盘位于所述治具吸盘的内圈，所述治具吸盘和所述物料吸盘上均设有多个通气孔。

进一步的，本实用新型还包括物料治具，所述物料治具包括治具本体、扣紧锁及物料空置槽，所述治具本体为环形结构并与所述治具吸盘相对应，所述物料空置槽位于所述治具本体的内圈与物料吸盘相对应，所述扣紧锁分布于治具本体上，并能在旋转一定角度时与物料挂具上的扣紧锁卡槽配合锁附。

进一步的，所述治具吸盘上的多个通气孔呈圆环形分布。

进一步的，本实用新型还包括旋转锁附驱动组件；且所述底板的中心还具有一旋转轴套；旋转锁附驱动组件包括W旋转轴、推动支杆、推动轴承、轴承压板、旋转轴承、直线电机及推动块；所述底板通过所述旋转轴套套设在所述W旋转轴上，所述W旋转轴通过所述旋转轴承连接在所述轴承压板上，所述推动支杆的上端连接所述伯努利吸盘体的边缘，下端连接所述推动轴承；所述直线电机设在所述轴承压板上并连接所述推动块；所述推动块上设有轴承推孔；所述推动轴承插设于所述轴承推孔内。旋转锁附驱动组件，也可为旋转电机模组，所述底板连接在所述旋转电机模组上，能在所述旋转电机模组驱动下旋转。

采用上述方案后，本实用新型伯努利吸盘装置具有以下有益效果：

本实用新型的伯努利吸盘装置中的伯努利吸盘设在伯努利吸盘体上并连接气管接头；伯努利吸盘体是通过气囊压设于底板上，且所述伯努利吸盘的下表面分布多个弹簧连接件，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位，从而实现伯努利吸盘体上的物料移位，辅助实现自动化的上下料，设备操作及控制更灵活，效率高。

附图说明

图1为本实用新型伯努利吸盘装置的整体立体图。

图2为本实用新型伯努利吸盘装置的部分立体图。

图3为本实用新型伯努利吸盘装置的部分分解图。

图4为本实用新型旋转锁附驱动组件的立体图。