[实用新型]晶圆转移装置及固晶机

权利要求书

1.一种晶圆转移装置，其特征在于，包括：

供晶机构(10)，具有取晶部；

固晶机构(20)，具有固晶部；以及

转移机构(30)，包括转盘(31)及固定在所述转盘(31)上的多个吸取组件(32)，所述取晶部和所述固晶部均位于所述转盘(31)的工作范围内，多个所述吸取组件(32)围绕所述转盘(31)的旋转轴线设置，所述转盘(31)能够转动，以使得多个所述吸取组件(32)依次经过所述取晶部和所述固晶部，且当其中一个所述吸取组件(32)位于所述取晶部时，相对的另外一个所述吸取组件(32)位于所述固晶部。

2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，多个所述吸取组件(32)围绕所述转盘(31)的旋转轴线均匀设置在所述转盘(31)上。

3.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述吸取组件(32)包括驱动件(321)及吸嘴(322)，所述驱动件(321)固定在所述转盘(31)的下方并连接所述吸嘴(322)，所述驱动件(321)能够驱动所述吸嘴(322)上下移动；和/或

所述驱动件(321)能够驱动所述吸嘴(322)转动。

4.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述供晶机构(10)还包括第一载台(11)及固定在所述第一载台(11)上的晶圆环(12)，所述晶圆环(12)内具有所述取晶部。

5.根据权利要求4所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述供晶机构(10)还包括第一调整结构(13)及第二调整结构(14)，所述第一调整结构(13)调整所述第一载台(11)在第一方向上的位置，所述第二调整结构(14)调整所述第一载台(11)在第二方向上的位置，其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

6.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述固晶机构(20)还包括第二载台(21)，所述第二载台(21)的上表面具有所述固晶部。

7.根据权利要求6所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述固晶机构(20)还包括第三调整结构(22)及第四调整结构(23)，所述第三调整结构(22)调整所述第二载台(21)在第一方向上的位置，所述第四调整结构(23)调整所述第二载台(21)在第二方向上的位置，其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

8.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆转移装置还包括底座(40)及架设在所述底座(40)上的支架(50)，所述供晶机构(10)及所述固晶机构(20)分别固定在所述底座(40)上并位于所述支架(50)的下方，所述转移机构(30)转动设置在所述支架(50)上。

9.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆转移装置包括两个所述供晶机构(10)，所述固晶机构(20)设置在两个所述供晶机构(10)之间，且所述转移机构(30)设置有两个，两个所述转移机构(30)分别对应两个所述供晶机构(10)设置并共用同一所述固晶机构(20)。

10.一种固晶机，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的晶圆转移装置。