[实用新型]磁控溅射夹持式旋转样品台

权利要求书

1.一种磁控溅射夹持式旋转样品台，其特征是，包括：

支撑杆，竖向设置；

双向棘轮机构，设置在所述支撑杆上方，用于调节纵向角度；

连接杆，设置在所述双向棘轮机构上，用于在所述双向棘轮机构的带动下进行纵向角度的调节；

旋转电机，设置在所述连接杆下方，用于在镀膜过程对样品台进行旋转；

样品台，设置在所述电机底部，用于固定目标基片；以及

固定架，可上下调节地设置在所述样品台下方的所述支撑杆上，用于调节靶基距。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射夹持式旋转样品台，其特征是，在所述支撑杆上设置有水平刻度，所述支撑杆上端的第一刻度线位置与所述样品台的位置保持水平，所述第一刻度线为零刻度。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射夹持式旋转样品台，其特征是，在所述双向棘轮机构上设置有角度指针和与所述角度指针对应的旋转刻度。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射夹持式旋转样品台，其特征是，所述旋转电机上设有电机控制装置，所述电机控制装置包括变速机组、处理器、信号接收器及遥控手柄。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射夹持式旋转样品台，其特征是，所述固定架的为内圈与靶套外径相配适的环形卡箍，在所述固定架的两端设置有两个供所述支撑杆穿过的连接耳，在所述支撑杆上均布有通过螺钉对所述连接耳进行限位的限位孔。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射夹持式旋转样品台，其特征是，所述支撑杆和所述双向棘轮机构分别有两个，呈对称分布于所述样品台的两侧；所述连接杆的两端分别连接在所述双向棘轮机构上。