[实用新型]一种光刻机及其曝光机构

权利要求书

1.一种光刻机的曝光机构，其特征在于，包括机台(6)、驱动机构(8)、导向部、用于安装掩膜板的上模板(1)和用于承载晶圆的下模板(2)；

所述上模板(1)和下模板(2)均用于安装在机台(6)的上侧、且所述上模板(1)为活动面板；

所述驱动机构(8)用于安装在机台(6)的下侧，且用于驱动所述上模板(1)升降，使上模板(1)相对靠近或远离所述下模板(2)；

所述导向部用于对上模板(1)的升降导向。

2.根据权利要求1所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述导向部包括用于与上模板(1)连接的导向杆(4)，所述下模板(2)上设有供导向杆(4)穿过的导向孔，所述导向杆(4)用于与导向孔滑动配合、且穿过机台(6)；

其中，所述驱动机构(8)用于通过所述导向杆(4)驱动上模板(1)升降。

3.根据权利要求2所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述下模板(2)通过支撑柱(3)固定在机台(6)上、且与机台(6)之间具有间隙；

所述导向杆(4)用于经由支撑柱(3)内部穿过所述机台(6)。

4.根据权利要求2或3所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述导向杆(4)上还套设有限位块(5)，所述限位块(5)位于上模板(1)与下模板(2)之间，所述限位块(5)用于在上模板(1)下降至极限位置时与下模板(2)相抵，以对上模板(1)的下降高度进行限位。

5.根据权利要求2或3所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述驱动机构(8)包括丝杆螺母结构，丝杆螺母结构具有可转动的丝杆以及套设在丝杆上的螺母座，所述导向杆(4)用于与丝杆螺母结构的螺母座连接，以在丝杆螺母结构的丝杆的带动下升降。

6.根据权利要求5所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述导向杆(4)的数量为四个、且一一对应地设置在上模板(1)的四个角；

其中，四个导向杆(4)分为两组，每组均包含两个导向杆(4)，且该两个导向杆(4)的下部通过连接件(7)连接；

所述驱动机构(8)的数量也为两组，且与两个连接件(7)一一对应，各驱动机构(8)的螺母座用于与相应连接件(7)连接，以通过连接件(7)带动相应的导向杆(4)升降。

7.根据权利要求6所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述连接件(7)包括连接板(71)和卡固件(72)，所述卡固件(72)具有用于套设在导向杆(4)上的卡固孔(701)，所述卡固件(72)的数量为两个、且一一对应地设置在连接板(71)两端的下侧，所述连接板(71)的两端还分别设有供导向杆(4)穿入卡固孔(701)的过孔(702)；其中，所述连接件(7)通过连接板(71)与相应驱动机构(8)的螺母座连接。

8.根据权利要求7所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，

所述卡固件(72)的底部还螺纹连接有螺杆(73)，所述螺杆(73)用于与导向杆(4)的下端相抵，以对导向杆(4)插入卡固孔(701)的深度进行限位。

9.根据权利要求1至3、6至8中任一项所述的光刻机的曝光机构，其特征在于，还包括两个位置传感器(9)，两个所述位置传感器(9)用于对上模板(1)的升降位置进行限位，使上模板(1)在两个位置传感器(9)所限定的范围内升降。

10.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的曝光机构。