[实用新型]一种光刻机及其曝光机构

说明书

本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机及其曝光机构，该曝光机构包括机台、驱动机构、导向部、用于安装掩膜板的上模板和用于承载晶圆的下模板；所述上模板和下模板均用于安装在机台的上侧、且所述上模板为活动面板；所述驱动机构用于安装在机台的下侧，且用于驱动所述上模板升降，使上模板相对靠近或远离所述下模板；所述导向部用于对上模板的升降导向。根据本实用新型的方案，由于上模板可相对下模板升降，并且当上模板上升以远离下模板时，上模板与下模板之间的距离增大，如此具有方便取放晶圆的效果。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种光刻机及其曝光机构。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。

现有的光刻机包括下模板和用于安装掩膜板的上模板，下模板上具有用于承载晶圆的承载部。其中，承载部上的晶圆在加工完成后，需要取出并重新放入一块新的晶圆，而上模板与下模板之间的间距较小，取放晶圆不方便，故急需针对这种情况进行解决。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种光刻机及其曝光机构，主要所要解决的技术问题是：如何提高晶圆取放的便捷性。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型的实施例提供一种光刻机的曝光机构，其包括机台、驱动机构、导向部、用于安装掩膜板的上模板和用于承载晶圆的下模板；所述上模板和下模板均用于安装在机台的上侧、且所述上模板为活动面板；所述驱动机构用于安装在机台的下侧，且用于驱动所述上模板升降，使上模板相对靠近或远离所述下模板；所述导向部用于对上模板的升降导向。

可选的，所述导向部包括用于与上模板连接的导向杆，所述下模板上设有供导向杆穿过的导向孔，所述导向杆用于与导向孔滑动配合、且穿过机台；其中，所述驱动机构用于通过所述导向杆驱动上模板升降。

可选的，所述下模板通过支撑柱固定在机台上、且与机台之间具有间隙；

所述导向杆用于经由支撑柱内部穿过所述机台。

可选的，所述导向杆上还套设有限位块，所述限位块位于上模板与下模板之间，所述限位块用于在上模板下降至极限位置时与下模板相抵，以对上模板的下降高度进行限位。

可选的，所述驱动机构包括丝杆螺母结构，丝杆螺母结构具有可转动的丝杆以及套设在丝杆上的螺母座，所述导向杆用于与丝杆螺母结构的螺母座连接，以在丝杆螺母结构的丝杆的带动下升降。

可选的，所述导向杆的数量为四个、且一一对应地设置在上模板的四个角；

其中，四个导向杆分为两组，每组均包含两个导向杆，且该两个导向杆的下部通过连接件连接；

所述驱动机构的数量也为两组，且与两个连接件一一对应，各驱动机构的螺母座用于与相应连接件连接，以通过连接件带动相应的导向杆升降。

可选的，所述连接件包括连接板和卡固件，所述卡固件具有用于套设在导向杆上的卡固孔，所述卡固件的数量为两个、且一一对应地设置在连接板两端的下侧，所述连接板的两端还分别设有供导向杆穿入卡固孔的过孔；其中，所述连接件通过连接板与相应驱动机构的螺母座连接。

可选的，所述卡固件的底部还螺纹连接有螺杆，所述螺杆用于与导向杆的下端相抵，以对导向杆插入卡固孔的深度进行限位。

可选的，所述的光刻机的曝光机构还包括两个位置传感器，两个所述位置传感器用于对上模板的升降位置进行限位，使上模板在两个位置传感器所限定的范围内升降。