[实用新型]一种便于清洁的气相沉积炉

权利要求书

1.一种便于清洁的气相沉积炉，包括整体结构(11)、沉积结构(12)和传送结构(13)，其特征在于：所述沉积结构(12)设置在整体结构(11)上方，沉积结构(12)设置在传送结构(13)的下方，传送结构(13)设置在整体结构(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)包括有控制装置(21)和传送轴体(22)，传送轴体(22)设置在控制装置(21)上方。

3.根据权利要求2所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有微波发生器(23)，微波发生器(23)设置在传送轴体(22)上方。

4.根据权利要求3所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有波导通路(24)和上盖体(25)，波导通路(24)设置在微波发生器(23)上，波导通路(24)设置在上盖体(25)上方。

5.根据权利要求4所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有沉积底座(26)，沉积底座(26)设置在控制装置(21)下方。

6.根据权利要求5所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述沉积结构(12)包括有沉积炉体(31)和支撑座(32)，支撑座(32)设置在沉积炉体(31)中，沉积炉体(31)设置在沉积底座(26)上。

7.根据权利要求6所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述沉积结构(12)还包括有观察窗(33)，观察窗(33)固定设置在沉积炉体(31)外壁上。

8.根据权利要求7所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述传送结构(13)包括有水冷环路(41)和水冷管道(42)，水冷管道(42)设置在水冷环路(41)上，水冷环路(41)设置在上盖体(25)上。

9.根据权利要求8所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述传送结构(13)还包括有送气管道(43)，送气管道(43)设置在水冷环路(41)上。

10.根据权利要求9所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述传送结构(13)还包括有传送支座(44)，传送支座(44)固定设置在传送轴体(22)上，水冷管道(42)和送气管道(43)均固定设置在传送支座(44)上。