[实用新型]一种便于清洁的气相沉积炉

说明书

本实用新型涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构上方，沉积结构与整体结构滑动连接，沉积结构设置在传送结构的下方，沉积结构与传送结构滑动连接，传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构转动连接。整体结构是本装置的主要控制支持结构，能够承载支撑其余工作结构的正常作业；沉积结构主要实现化学气相沉积的反应过程，并且获得所需的沉积薄膜；传送结构主要为工作装置输送反应所需的混合气体，并且为工作装置提供水冷冷却效果。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。

背景技术

例如公开号CN107604340A，该发明涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本发明化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，产品转化率高。但是该化学气相沉积炉不能够自动将炉体进行分离工作。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种便于清洁的气相沉积炉，可以自动将炉体进行分离工作。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

本便于清洁的气相沉积炉的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构上方，沉积结构与整体结构滑动连接，沉积结构设置在传送结构的下方，沉积结构与传送结构滑动连接，传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构转动连接。

本便于清洁的气相沉积炉的整体结构主要包括控制装置和传送轴体、微波发生器、波导通路、上盖体和沉积底座。其中传送轴体设置在控制装置上方，传送轴体与控制装置转动连接。微波发生器设置在传送轴体上方，微波发生器与传送轴体固定连接。波导通路设置在微波发生器上，波导通路与微波发生器固定连接，波导通路设置在上盖体上方，波导通路与上盖体固定连接。沉积底座设置在控制装置下方，沉积底座与控制装置固定连接。在控制装置上设置有明显的显示屏。其中上盖体上侧位置内部一般设置有模式转换器，上盖体内部通常设置有感应线圈，在上盖体与下侧结构相邻位置处应设置有一层石英窗。

本便于清洁的气相沉积炉的沉积结构主要包括沉积炉体、支撑座和观察窗。其中支撑座设置在沉积炉体中，支撑座与沉积炉体固定连接，沉积炉体设置在沉积底座上，沉积炉体与沉积底座滑动连接。观察窗固定设置在沉积炉体外壁上。通常等离子球与基片台的设置位置在支撑座下方。

本便于清洁的气相沉积炉的传送结构主要包括水冷环路和水冷管道、送气管道和传送支座。其中水冷管道设置在水冷环路上，水冷管道与水冷环路固定连接，水冷环路设置在上盖体上，水冷环路与上盖体固定连接。送气管道设置在水冷环路上，送气管道与水冷环路固定连接。传送支座固定设置在传送轴体上，水冷管道和送气管道均固定设置在传送支座上。

本实用新型一种便于清洁的气相沉积炉的有益效果为：

本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置能够将分离的炉体位置固定，便于内部工作结构的装卸与清洗。整个分离装配过程均由装置自动进行，能够提高工作效率，并且一定程度上减少操作人员的安全隐患。同时本装置的结构设计合理，能够在多处对工作环境进行水冷降温工作，使得化学沉积反应更为可靠。综上所述，本装置工作原理简单、整体结构实用可靠、灵活性强且冷却效果好，可以投入到实际生产使用中。

附图说明