[实用新型]一种薄膜拉伸对位曝光机构有效
申请号: | 202121553916.1 | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN215729273U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 袁大朋 | 申请(专利权)人: | 昆山爱克斯莫斯机械科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 崔巍 |
地址: | 215335 江苏省苏州市昆山市昆山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 拉伸 对位 曝光 机构 | ||
1.一种薄膜拉伸对位曝光机构,包括相机,其特征在于,还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座,所述相机设于第一底座和第二底座之间,所述第一底座上依次设有第一夹紧机构和第二夹紧机构,所述第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构,所述第三夹紧机构设于拉伸机构靠近第一底座的一侧,所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘,所述转盘转动连接在第二底座上,所述第四夹紧机构固定在转盘上,在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构,所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器。
2.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构,其特征在于:所述动力机构包括固定在第二底座上的伺服电机,所述伺服电机输出端设有丝杠,所述丝杠上螺纹连接有滑块,所述滑块铰接在第四夹紧机构底部。
3.根据权利要求2所述的薄膜拉伸对位曝光机构,其特征在于:所述第二底座上丝杠下还设有导轨,所述滑块滑动连接在导轨上。
4.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构,其特征在于:所述第一夹紧机构和第二夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸,所述第一夹紧机构和第二夹紧机构上还分别设有夹紧板和薄膜固定板,所述夹紧板随驱动气缸动作,所述薄膜固定板固定在第一底座。
5.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构,其特征在于:第三夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸,所述第三夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板,所述夹紧板随驱动气缸动作,所述薄膜固定板固定在第二底座。
6.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构,其特征在于:第四夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸,所述第四夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板,所述夹紧板随驱动气缸动作,所述薄膜固定板固定在所述转盘上。
7.根据权利要求4-6中任一条所述的薄膜拉伸对位曝光机构,其特征在于:所述薄膜固定板尺寸小于夹紧板尺寸。
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