[实用新型]一种薄膜拉伸对位曝光机构

说明书

本实用新型涉及薄膜生产技术领域，特别是涉及一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座，所述相机设于第一底座和第二底座之间，第一底座上设有第一夹紧机构和第二夹紧机构，第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构，所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘，在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器，通过利用动力机构配合拉伸机构对薄膜进行拉伸微调，可以将尺寸不一致的薄膜进行拉伸微调后实现精准曝光做图的效果，通过设置第一夹紧机构和第二夹紧机构共同固定薄膜，可以防止在薄膜拉伸过程中产生微动。

技术领域

本实用新型涉及薄膜生产技术领域，特别是涉及一种薄膜拉伸对位曝光机构。

背景技术

现有的薄膜对位曝光机构原理图如图3和图4所示：主要由反向张力轮a、搬送定位轮b、薄膜材料c、上光罩d、下光罩e、相机f、上光罩靶标g、薄膜材料上靶标h。其中反向张力轮a和搬送定位轮b配合搬送薄膜材料c，搬送完成后，上光罩d上的上光罩靶标g和薄膜材料上靶标h进行对位，对位成功后，进行曝光动作，薄膜材料c经过一道曝光后，每一拍上都会形成4个薄膜材料上靶标h，由于薄膜材料c极易受到外力影响而发生形变，导致每一拍上形成的4个薄膜材料上靶标h位置都不同，所以上光罩靶标g和薄膜材料上靶标h无法稳定对位，其次，反向张力轮a和搬送定位轮b之间的张力是无法高精度控制到±1N，导致每一拍材料涨缩不一致，曝光出来的线路尺寸也会不一致。

因此需要一种薄膜拉伸对位曝光机构能够对薄膜进行精确拉伸从而做出和基准光罩一样的图案。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种薄膜拉伸对位曝光机构，用于解决现有技术中拉伸机构面对每一片材料缩小尺寸不一样时无法调整薄膜拉伸精度的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座，所述相机设于第一底座和第二底座之间，所述第一底座上依次设有第一夹紧机构和第二夹紧机构，所述第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构，所述第三夹紧机构设于拉伸机构靠近第一底座的一侧，所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘，所述转盘转动连接在第二底座上，所述第四夹紧机构固定在转盘上，在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器。

于本实用新型的一实施例中，所述动力机构包括固定在第二底座上的伺服电机，所述伺服电机输出端设有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有滑块，所述滑块铰接在第四夹紧机构底部。

于本实用新型的一实施例中，所述第二底座上丝杠下还设有导轨，所述滑块滑动连接在导轨上。

于本实用新型的一实施例中，所述第一夹紧机构和第二夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第一夹紧机构和第二夹紧机构上还分别设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在第一底座。

于本实用新型的一实施例中，第三夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第三夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在第二底座。

于本实用新型的一实施例中，第四夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第四夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在所述转盘上。

于本实用新型的一实施例中，所述薄膜固定板尺寸小于夹紧板尺寸。

如上所述，本实用新型的一种薄膜拉伸对位曝光机构，具有以下有益效果：

1、通过利用动力机构配合拉伸机构对薄膜进行拉伸微调，可以将尺寸不一致的薄膜进行拉伸微调后实现精准曝光做图的效果。