[实用新型]一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置

权利要求书

1.一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上侧壁固定设置有支架(2)，所述支架(2)的内部固定设置有水槽(3)，所述水槽(3)的上端固定设置有支撑板(4)，所述支撑板(4)的上端固定设置有均匀排布的竖杆(5)，所述竖杆(5)的侧壁固定设置有均匀排布的U型板(6)，所述U型板(6)的内部卡接设置有单晶硅片(7)，所述支架(2)的上端固定设置有水箱(8)，所述水箱(8)的下侧壁固定设置有出水管(9)，所述出水管(9)管壁的下端转动设置有旋转管(10)，所述旋转管(10)的内壁开设有环形槽，所述出水管(9)的外壁固定设置有对称的限位块(11)，两个所述限位块(11)均与所述环形槽滑动连接，所述旋转管(10)的下端固定设置有对称的连接管(12)，两个所述连接管(12)的侧壁固定设置有均匀排布的喷头(13)，所述旋转管(10)的外壁固定设置有第一皮带轮(14)，所述支架(2)的左侧壁固定设置有机箱，所述机箱的内部固定设置有电机(15)，所述电机(15)的输出端固定设置有转杆(16)，所述转杆(16)杆壁的上端固定设置有第二皮带轮(17)，所述第一皮带轮(14)通过皮带与所述第二皮带轮(17)转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置，其特征在于：所述水槽(3)内壁的上端固定设置有对称的固定块(18)，所述水槽(3)的上端横向设置有过滤网(19)，所述过滤网(19)的两端均固定设置有安装板(20)，两个所述安装板(20)均通过螺栓与所述固定块(18)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置，其特征在于：所述水槽(3)的内部固定设置有水泵(21)，所述水泵(21)的右端固定设置有回流管(22)，所述回流管(22)的上端与所述水箱(8)的右侧壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置，其特征在于：所述U型板(6)的内部固定设置有橡胶防护垫。

5.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置，其特征在于：均匀排布的所述喷头(13)呈角度对称设置。