[实用新型]一种集成电路检测设备

权利要求书

1.一种集成电路检测设备，包括机体(1)，所述机体(1)顶面设置有检测台(2)，所述检测台(2)上方设置有吸附组件，所述吸附组件通过位移装置(3)与所述机体(1)连接，其特征在于：

所述吸附组件包括安装盘(5)，所述安装盘(5)上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各所述第一吸盘单元均通过第一软管(7)与第一真空泵(6)连接，各所述第二吸盘单元均通过第二软管(8)与第二真空泵(11)连接，所述安装盘(5)上还设置有检测装置(9)。

2.根据权利要求1所述的集成电路检测设备，其特征在于，各所述第一吸盘单元和各所述第二吸盘单元环绕所述安装盘(5)的轴心线设置。

3.根据权利要求2所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述第一吸盘单元的数量与所述第二吸盘单元的数量相等，所述第一吸盘单元与所述第二吸盘单元交错设置。

4.根据权利要求3所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述第一吸盘单元和所述第二吸盘单元均包括真空管(10)，所述真空管(10)的轴心线与所述安装盘(5)的轴心线平行，所述真空管(10)的顶端设置有快速接头(14)，所述第一吸盘单元的所述真空管(10)与所述第一软管(7)连接，所述第二吸盘单元的所述真空管(10)与所述第二软管(8)连接，所述真空管(10)的底端设置有吸附件。

5.根据权利要求4所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述吸附件包括连接套(15)，所述连接套(15)上设置有吸盘(12)，所述吸盘(12)的内侧与所述真空管(10)连通。

6.根据权利要求5所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述吸盘(12)的内侧设置有多个密封环(16)，各所述密封环(16)的圆心均与所述吸盘(12)的圆心重合。

7.根据权利要求4所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述真空管(10)贯穿所述安装盘(5)，所述真空管(10)的外周面上设有螺纹，所述真空管(10)上螺纹连接有两个螺母(4)，两个所述螺母(4)分别与所述安装盘(5)的两侧抵靠。

8.根据权利要求7所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述安装盘(5)上开设有滑槽(13)，所述真空管(10)穿过所述滑槽(13)。

9.根据权利要求8所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述滑槽(13)沿所述安装盘(5)的径向分布。

10.根据权利要求1所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述检测装置(9)位于所述安装盘(5)的圆心处，所述检测装置(9)为测距传感器或接近开关。