[实用新型]一种集成电路检测设备

说明书

本实用新型公开了一种集成电路检测设备，包括机体，机体顶面设置有检测台，检测台上方设置有吸附组件，吸附组件通过位移装置与机体连接，吸附组件包括安装盘，安装盘上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各第一吸盘单元均通过第一软管与第一真空泵连接，各第二吸盘单元均通过第二软管与第二真空泵连接，安装盘上还设置有检测装置。本实用新型的多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元同时对集成电路进行吸附，并且第一吸盘单元和第二吸盘单元通过不同真空泵抽真空，实现了各吸盘单元的冗余设置，降低了集成电路发生掉落或者没有吸起情况的几率。

技术领域

本实用新型属于集成电路制造技术领域，尤其涉及一种集成电路检测设备。

背景技术

集成电路成品通常需要进行测试，之后按照测试结果使用分选机对集成电路进行分选，分选机转移集成电路时通过真空吸头将集成电路吸起，在转移过程中存在着集成电路掉落或者没有吸起来的情况。以上情况可通过测量真空吸头内部真空度进行检测，但在检测过程中因检测台材质影响很容易发生误报警的情况，导致分选机频繁停机。同时当集成电路发生掉落或者没有吸起情况时，集成电路容易在检测台上发生堆叠，而集成电路叠料难以检测，导致漏测的成品未测试的产品混放到一起无法分辨，最终只能进行重新测试，对于有锡球和引脚的产品还会造成外观受损，导致芯片报废。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种集成电路检测设备,以解决对集成电路测试过程中，无法及时检测集成电路从分选机上掉落或者没有吸起的情况，致使集成电路在检测台上堆叠，造成集成电路发生漏测和损坏的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型的集成电路检测设备的具体技术方案如下：

一种集成电路检测设备，包括机体，所述机体顶面设置有检测台，所述检测台上方设置有吸附组件，所述吸附组件通过位移装置与所述机体连接，所述吸附组件包括安装盘，所述安装盘上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各所述第一吸盘单元均通过第一软管与所述第一真空泵连接，各所述第二吸盘单元均通过第二软管与所述第二真空泵连接，所述安装盘上还设置有检测装置。

优选的，各所述第一吸盘单元和各所述第二吸盘单元环绕所述安装盘的轴心线设置。

优选的，所述第一吸盘单元的数量与所述第二吸盘单元的数量相等，所述第一吸盘单元与所述第二吸盘单元交错设置。

优选的，所述第一吸盘单元和所述第二吸盘单元均包括真空管，所述真空管的轴心线与所述安装盘的轴心线平行，所述真空管的顶端设置有快速接头，所述第一吸盘单元的所述真空管与所述第一软管连接，所述第二吸盘单元的所述真空管与所述第二软管连接，所述真空管的底端设置有吸附件。

优选的，所述吸附件包括连接套，所述连接套上设置有吸盘，所述吸盘的内侧与所述真空管连通。

优选的，所述吸盘的内侧设置有多个密封环，各所述密封环的圆心均与所述吸盘的圆心重合。

优选的，所述真空管贯穿所述安装盘，所述真空管的外周面上设有螺纹，所述真空管上螺纹连接有两个螺母，两个所述螺母分别与所述安装盘的两侧抵靠。

优选的，所述安装盘上开设有滑槽，所述真空管穿过所述滑槽。

优选的，所述滑槽沿所述安装盘的径向分布。

优选的，所述检测装置位于所述安装盘的圆心处，所述检测装置为测距传感器或接近开关。

本实用新型的集成电路检测设备具有以下优点：

1、多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元同时对集成电路进行吸附，并且第一吸盘单元和第二吸盘单元通过不同真空泵抽真空，实现了各吸盘单元的冗余设置，降低了集成电路发生掉落或者没有吸起情况的几率；

2、吸附单元在安装盘上的位置可根据集成电路尺寸进行调节，使检测设备可以吸附多种集成电路，提高检测设备的实用性；