[实用新型]一种RF电极装置有效
| 申请号： | 202121604468.3 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN215008138U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴本安;毛中犁 | 申请（专利权）人： | 深圳市易卜光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/02 |
| 代理公司： | 深圳树贤专利代理事务所(普通合伙) 44705 | 代理人： | 陈晶晶 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 rf 电极 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种RF电极装置，包括位于真空室内、并作为电极的底座，其特征在于：所述底座上设有由铝丝材质构成的螺旋管，且底座中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器，底座中心设有定位孔；
所述螺旋管的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管下端设有连接端，所述连接端的一端抵接螺旋管，连接端的另一端连接有电源连接线。
2.如权利要求1所述的一种RF电极装置，其特征在于：所述螺旋管上设有用于固定不锈钢板的定位件。
3.如权利要求2所述的一种RF电极装置，其特征在于：所述螺旋管的底部设有与自身同轴设置的连接段；
所述绝缘固定器的轴向截面呈“T”字型结构，所述连接段与绝缘固定器固定连接，绝缘固定器的下端嵌设于定位孔内。
4.如权利要求2所述的一种RF电极装置，其特征在于：所述不锈钢板由304材料构成，且不锈钢板的厚度为0.8mm。
5.如权利要求1所述的一种RF电极装置，其特征在于：所述绝缘固定器由特氟龙材料构成。
6.如权利要求1所述的一种RF电极装置，其特征在于：所述螺旋管的直径为6mm。
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