[实用新型]一种RF电极装置

说明书

本实用新型公开了一种RF电极装置，既可以在高真空中使残留气体电离，并且可以在高真空中自持放电，不需要另外充工作气体，还能够使离子的轰击效率大大提高，包括位于真空室内、并作为电极的底座，所述底座上设有由铝丝材质构成的螺旋管，且底座中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器，底座中心设有定位孔；所述螺旋管的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管下端设有连接端，所述连接端的一端抵接螺旋管，连接端的另一端连接电源电源连接线。

技术领域

本实用新型涉及一种RF电极装置技术领域，尤其涉及一种RF电极装置。

背景技术

在真空镀膜领域，镀膜前的离子清洗对膜层附着力的影响起着决定性的作用，而RF(radio frequency)的电极设计又是重中之重，它决定着RF的实际使用效果，若电极设计不好，RF就会没有使用价值。

现有技术中，RF等离子清洗方法，是诸多清洗方法之一。它的电极设计多种多样，但均效果欠佳。如电极设置在真空室上部，跟真空室底座形成电极对的设计方式，由于极间距较远，必须在较低的真空度下，通工作气体才能启辉。并且，随着放电时间的延长，真空度增高时，阴极暗区接触到阳极，放电不能持续。并且轰击效率低，产生的轰击效果不明显；还有一种用直径6mm的铝丝或者铜丝从真空室中升起的方式，并在到达工件架的位置，沿着(贴近)真空室内壁围成圆圈，用绝缘座固定，不让其晃动，避免短路，这种方法比前一种方法更难启辉，并且持续辉光放电的时间更短，效率更差。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种RF电极装置，既可以在高真空中使残留气体电离，并且可以在高真空中自持放电，不需要另外充工作气体，还能够使离子的轰击效率大大提高。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：一种RF电极装置，包括位于真空室内、并作为电极的底座，所述底座上设有由铝丝材质构成的螺旋管，且底座中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器，底座中心设有定位孔；

所述螺旋管的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管下端设有连接端，所述连接端的一端抵接螺旋管，连接端的另一端连接有电源连接线。

进一步的，所述螺旋管上设有用于固定不锈钢板的定位件。

进一步的，所述螺旋管的底部设有与自身同轴设置的连接段；

所述绝缘固定器的轴向截面呈“T”字型结构，所述连接段与绝缘固定器固定连接，绝缘固定器的下端嵌设于定位孔内。

进一步的，所述不锈钢板由304材料构成，且不锈钢板的厚度为0.8mm。

进一步的，所述绝缘固定器由特氟龙材料构成。

进一步的，所述螺旋管的直径为6mm。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

这样的设计，在生产时，可以在真空度达到5E-Torr或5E-Pa的高真空条件下，不需要冲任何工作气体，在打开电源和RF调配器的情况下，只需用电子枪对准膜料作“预熔”操作，就可以顺利启辉。RF一旦启辉，真空室壁的残留气体就会被等离子体中的离子轰击出来，使真空度自动下降，刚好够维持持续放电的气压，而不需要另外充工作气体。并且，由于电极距离底座很近，电极与底座形成的两极对启辉的气压要求降低，不需要很低的真空度就能启辉，同时，工作过程中，随着残留气体的逐步减少，真空度逐渐变高时，放电的阴极暗区，由近底座的方向自动变更到另一侧，跟真空室上端的工件架和真空室壁形成更远的阴极暗区，阴极暗区的极限距离由此变大，所以即使在高真空状态下，也能自持放电。

此外，由于电极设计成一块大板，放电面积较大，因此能够大大提高放电效率，轰击效果明显，清洗后对膜层附着力提高显著。