[实用新型]一种晶片退火炉

权利要求书

1.一种晶片退火炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体包括由石英制成的下壳以及上盖，所述下壳与所述上盖之间密封配合且所述下壳与所述上盖之间围成退火腔；

抽真空装置，所述抽真空装置用于使所述退火腔内达到预设真空度；

加热装置，所述加热装置用于对所述下壳和/或所述上盖进行加热；

控温装置，所述控温装置的测量端用于测量所述退火腔内的温度，所述控温装置的控温端与所述加热装置连接，所述控温装置的控温端根据所述控温装置的测量端的测量数据控制所述加热装置的启停或调节所述加热装置的功率。

2.根据权利要求1所述的晶片退火炉，其特征在于，所述抽真空装置包括设置于所述下壳或所述上盖的抽真空接口以及真空阀，所述抽真空接口的一端与所述退火腔连通，所述抽真空接口的另一端用于与真空泵连接，所述真空阀用于切断或导通所述抽真空接口与所述退火腔之间的连接。

3.根据权利要求1或2所述的晶片退火炉，其特征在于，所述加热装置包括加热丝，所述加热丝围绕所述退火腔迂回地设置于所述下壳或所述上盖内。

4.根据权利要求3所述的晶片退火炉，其特征在于，所述加热装置包括多条所述加热丝，各条所述加热丝沿所述退火腔的长度方向依次设置以使所述退火腔内沿所述退火腔的长度方向形成与各所述加热丝对应的温区，所述控温装置具有与各所述加热丝一一对应设置的多个所述测量端以及多个所述控温端。

5.根据权利要求3所述的晶片退火炉，其特征在于，还包括第一冷却盘管以及第二冷却盘管，所述第一冷却盘管迂回设置于所述下壳内，所述第一冷却盘管的进出口伸出于所述下壳，所述第二冷却盘管迂回设置于所述上盖内，所述第二冷却盘管的进出口伸出于所述上盖。

6.根据权利要求5所述的晶片退火炉，其特征在于，所述第一冷却盘管或所述第二冷却盘管迂回设置于所述加热丝的外围。

7.根据权利要求6所述的晶片退火炉，其特征在于，所述下壳与所述上盖内还分别设置有保温层，所述下壳内的保温层与所述上盖内的保温层能够在所述下壳与所述上盖扣合时相互配合围成将所述退火腔、所述加热丝、所述第一冷却盘管以及所述第二冷却盘管包裹在内的保温壳。

8.根据权利要求7所述的晶片退火炉，其特征在于，所述下壳与所述上盖内还分别设置有隔热层，所述下壳内的隔热层与所述上盖内的隔热层能够在所述下壳与所述上盖扣合时相互配合围成将所述保温壳包裹在内的隔热壳。

9.根据权利要求1-2及4-8任意一项所述的晶片退火炉，其特征在于，还包括用于设置于所述退火腔内的石英帽。

10.根据权利要求1-2及4-8任意一项所述的晶片退火炉，其特征在于，所述下壳与所述上盖之间铰接。