[实用新型]一种晶舟盒料盒缓冲固定结构

权利要求书

1.一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱(1)、箱盖(2)以及晶舟盒中框(4)，其特征在于：所述箱盖(2)铰接安装于外箱(1)的上端口一侧，且箱盖(2)内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板(3)；

所述晶舟盒中框(4)安装于外箱(1)内，且外箱(1)内底面固定有与晶舟盒中框(4)底部插接配合的定位胶柱(5)，以及与晶舟盒中框(4)底部对应卡合的固定片(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述压料尺板(3)为沿宽度方向弯曲的弧板结构。

3.根据权利要求2所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述压料尺板(3)的两侧向下弯曲的部分上等距开设有多个对接缝(302)。

4.根据权利要求3所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述压料尺板(3)的中部呈线性开设有多个插接孔(301)，且箱盖(2)内顶面中部对应插接孔(301)固定有多个与之插接配合的固定柱(201)。

5.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述晶舟盒中框(4)内两侧对称构造有多道用于隔开晶圆的分隔棱(401)，且晶舟盒中框(4)的一侧开设有H形开口(402)。

6.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述晶舟盒中框(4)的底部四角处开设有供定位胶柱(5)插接的插孔，以及与固定片(6)嵌合的卡槽。

7.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述外箱(1)与箱盖(2)对接的沿口上滑动安装有用于密封二者的卡扣(7)。