[实用新型]一种晶舟盒料盒缓冲固定结构

说明书

本实用新型公开了一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱、箱盖以及晶舟盒中框，所述箱盖铰接安装于外箱的上端口一侧，且箱盖内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板，同时，所述晶舟盒中框安装于外箱内，且外箱内底面固定有与晶舟盒中框底部插接配合的定位胶柱，以及与晶舟盒中框底部对应卡合的固定片。该晶舟盒料盒缓冲固定结构，结构合理，采用可拆卸的柔性尺板与晶圆抵接，提高了对晶圆的保护效果，并方便更换尺板，有利于节约成本，且可能将收纳的晶圆快速稳定的置于盒内，进一步提高了对晶圆的保护效果，并提高了转运效果。

技术领域

本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种晶舟盒料盒缓冲固定结构。

背景技术

半导体行业中，晶圆在运输和生产过程中会存放在晶舟盒内，一个晶舟盒内通常设有多个卡槽，能够存放多片晶圆。卡槽一方面能够固定晶圆的位置，另一方面避免相连的晶圆发生碰撞。正常情况下，晶舟盒内的晶圆处于水平面上，多片晶圆自下而上排列，晶圆受重力影响会紧贴卡槽的一侧，在运输合理的情况下，晶圆不会发生较大的震动，也不会出现破片等问题。

但是，现有的晶舟盒的盒盖上用于抵接晶圆的尺板通常是与盒盖呈一体式结构的，与晶圆刚性抵接，容易对晶圆造成损坏，且晶舟盒内的中框也缺乏快速固定结构，导致在运输过程中，中框会带着晶圆一起晃动，也会造成晶圆损坏，转运效果不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱、箱盖以及晶舟盒中框，所述箱盖铰接安装于外箱的上端口一侧，且箱盖内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板；

所述晶舟盒中框安装于外箱内，且外箱内底面固定有与晶舟盒中框底部插接配合的定位胶柱，以及与晶舟盒中框底部对应卡合的固定片。

优选的，所述压料尺板为沿宽度方向弯曲的弧板结构。

优选的，所述压料尺板的两侧向下弯曲的部分上等距开设有多个对接缝。

优选的，所述压料尺板的中部呈线性开设有多个插接孔，且箱盖内顶面中部对应插接孔固定有多个与之插接配合的固定柱。

优选的，所述晶舟盒中框内两侧对称构造有多道用于隔开晶圆的分隔棱，且晶舟盒中框的一侧开设有H形开口。

优选的，所述晶舟盒中框的底部四角处开设有供定位胶柱插接的插孔，以及与固定片嵌合的卡槽。

优选的，所述外箱与箱盖对接的沿口上滑动安装有用于密封二者的卡扣。

本实用新型的技术效果和优点：该晶舟盒料盒缓冲固定结构，得益于箱盖、固定柱以及压料尺板的配合，可通过用弹性材质制成的压料尺板来对晶圆进行抵接，并得益于对接缝的开设，压料尺板与晶圆抵接时，晶圆边缘可嵌入对接缝内，从而进一步避免压料尺板与晶圆抵接可能造成的晶圆损伤，同时，压料尺板通过可拆卸安装，还可在长时间使用磨损严重后进行更换，有利于节约成本，并可与不同规格的晶舟盒进行搭配使用，十分方便；

且得益于外箱内设置的定位胶柱以及固定片，使得晶舟盒中框在收纳晶圆后可快速稳定地置于外箱内，并配合压料尺板的抵接，提高了晶圆在转运时的稳定性，避免了晃动，提高了对晶圆的保护效果，并提高了转运效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的结构爆炸图；

图3为本实用新型的箱盖的结构示意图；

图4为本实用新型的压料尺板的结构示意图；

图5为本实用新型的外箱的结构示意图。