[实用新型]一种用于半导体检测的治具有效

专利信息
申请号: 202121635936.3 申请日: 2021-07-19
公开(公告)号: CN215299220U 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 李云峰 申请(专利权)人: 苏州翼云电子科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 代理人: 占国霞
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 半导体 检测
【权利要求书】:

1.一种用于半导体检测的治具,其特征在于:包括底板(1)、上料单元(7)和夹持单元(8);

底板(1):其上表面分别设有GPRS数据传输模块(3)和冂型架(4),冂型架(4)水平板体中部的安装孔内设有红外工业相机(5);

上料单元(7):设置于底板(1)的上表面中部,上料单元(7)的右端位于冂型架(4)的内部;

夹持单元(8):设置于冂型架(4)的竖向板体中部;

其中:所述底板(1)的上表面设有PLC控制器(2),PLC控制器(2)的输入端电连接外部电源,红外工业相机(5)和GPRS数据传输模块(3)均与PLC控制器(2)双向电连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述上料单元(7)包括锥形滑槽(71)、冂型滑板(72)、第一电机(73)和丝杆(74),所述锥形滑槽(71)对称设置于底板(1)的上表面中部,两个锥形滑槽(71)均与冂型滑板(72)滑动连接,第一电机(73)设置于底板(1)的左表面,第一电机(73)的输出轴穿过底板(1)左表面的通孔并延伸至前方的锥形滑槽(71)内部,第一电机(73)的输出轴右端设有丝杆(74),丝杆(74)的右端与前方的锥形滑槽(71)右壁面固定连接,丝杆(74)与冂型滑板(72)的前端竖向板体螺纹连接,第一电机(73)的输入端电连接PLC控制器(2)的输出端。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述夹持单元(8)包括圆柱(81)、T型夹板(82)、电动推杆(83)和连接板(84),所述圆柱(81)分别通过轴承转动连接于冂型架(4)竖向板体中部设置的圆孔内,圆柱(81)中部的方形通孔内部均滑动连接有T型夹板(82),电动推杆(83)对称设置于冂型架(4)的左右侧面,电动推杆(83)的伸缩端外端均设有连接板(84),T型夹板(82)远离冂型架(4)的端头外弧面分别通过轴承与相邻的连接板(84)下端圆形通孔转动连接,电动推杆(83)的输入端电连接PLC控制器(2)的输出端。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述夹持单元(8)还包括第二电机(85)和齿轮(86),所述第二电机(85)分别设置于底板(1)上表面对称设置的U型座上端,第二电机(85)的输出轴内侧端头处均设有齿轮(86),圆柱(81)外弧面外端均匀设置的齿牙分别与竖向对应的齿轮(86)啮合连接,第二电机(85)的输入端电连接PLC控制器(2)的输出端。

5.根据权利要求3所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述冂型滑板(72)的上表面与两个T型夹板(82)的底面位于同一平面。

6.根据权利要求3所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述T型夹板(82)的相对内侧面均设有橡胶垫(9)。

7.根据权利要求4所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述冂型架(4)的左右壁面下端均设有角度传感器(6),角度传感器(6)的输出轴分别穿过冂型架(4)左右壁体的通孔并与相邻的齿轮(86)中心处固定连接,角度传感器(6)的输出端电连接PLC控制器(2)的输入端。

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