[实用新型]一种用于半导体检测的治具有效
申请号: | 202121635936.3 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN215299220U | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 李云峰 | 申请(专利权)人: | 苏州翼云电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 | 代理人: | 占国霞 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 检测 | ||
1.一种用于半导体检测的治具,其特征在于:包括底板(1)、上料单元(7)和夹持单元(8);
底板(1):其上表面分别设有GPRS数据传输模块(3)和冂型架(4),冂型架(4)水平板体中部的安装孔内设有红外工业相机(5);
上料单元(7):设置于底板(1)的上表面中部,上料单元(7)的右端位于冂型架(4)的内部;
夹持单元(8):设置于冂型架(4)的竖向板体中部;
其中:所述底板(1)的上表面设有PLC控制器(2),PLC控制器(2)的输入端电连接外部电源,红外工业相机(5)和GPRS数据传输模块(3)均与PLC控制器(2)双向电连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述上料单元(7)包括锥形滑槽(71)、冂型滑板(72)、第一电机(73)和丝杆(74),所述锥形滑槽(71)对称设置于底板(1)的上表面中部,两个锥形滑槽(71)均与冂型滑板(72)滑动连接,第一电机(73)设置于底板(1)的左表面,第一电机(73)的输出轴穿过底板(1)左表面的通孔并延伸至前方的锥形滑槽(71)内部,第一电机(73)的输出轴右端设有丝杆(74),丝杆(74)的右端与前方的锥形滑槽(71)右壁面固定连接,丝杆(74)与冂型滑板(72)的前端竖向板体螺纹连接,第一电机(73)的输入端电连接PLC控制器(2)的输出端。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述夹持单元(8)包括圆柱(81)、T型夹板(82)、电动推杆(83)和连接板(84),所述圆柱(81)分别通过轴承转动连接于冂型架(4)竖向板体中部设置的圆孔内,圆柱(81)中部的方形通孔内部均滑动连接有T型夹板(82),电动推杆(83)对称设置于冂型架(4)的左右侧面,电动推杆(83)的伸缩端外端均设有连接板(84),T型夹板(82)远离冂型架(4)的端头外弧面分别通过轴承与相邻的连接板(84)下端圆形通孔转动连接,电动推杆(83)的输入端电连接PLC控制器(2)的输出端。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述夹持单元(8)还包括第二电机(85)和齿轮(86),所述第二电机(85)分别设置于底板(1)上表面对称设置的U型座上端,第二电机(85)的输出轴内侧端头处均设有齿轮(86),圆柱(81)外弧面外端均匀设置的齿牙分别与竖向对应的齿轮(86)啮合连接,第二电机(85)的输入端电连接PLC控制器(2)的输出端。
5.根据权利要求3所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述冂型滑板(72)的上表面与两个T型夹板(82)的底面位于同一平面。
6.根据权利要求3所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述T型夹板(82)的相对内侧面均设有橡胶垫(9)。
7.根据权利要求4所述的一种用于半导体检测的治具,其特征在于:所述冂型架(4)的左右壁面下端均设有角度传感器(6),角度传感器(6)的输出轴分别穿过冂型架(4)左右壁体的通孔并与相邻的齿轮(86)中心处固定连接,角度传感器(6)的输出端电连接PLC控制器(2)的输入端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造