[实用新型]一种晶片载盘搬运装置

权利要求书

1.一种晶片载盘搬运装置，其特征在于，包括：

支架(2)；

X轴运动滑轨(3)；

Z轴运动滑轨(4)；

晶片载盘(8)，

其中，所述支架(2)底部通过螺钉固定连接有支架底板(1)，所述支架(2)顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨(3)，所述X轴运动滑轨(3)一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨(4)，所述Z轴运动滑轨(4)一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板(5)，所述夹爪固定板(5)一侧底部通过螺钉固定连接有夹爪(6)，所述夹爪(6)底部之间卡接有晶片载盘(8)，所述夹爪(6)顶部一侧通过螺钉固定连接有导柱固定板(7)，所述导柱固定板(7)一侧内部卡接有导柱导套组件(10)，所述导柱导套组件(10)底部一端卡接有晶片吸嘴(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述X轴运动滑轨(3)一侧与支架(2)连接处通过螺钉固定连接有X轴联接板(301)。

3.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述Z轴运动滑轨(4)一侧与X轴运动滑轨(3)连接处通过螺钉固定连接有Z轴联接板(401)。

4.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述导柱导套组件(10)的导柱与导套之间卡接有弹簧。

5.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述夹爪(6)为四爪气动夹爪。

6.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述X轴运动滑轨(3)与Z轴运动滑轨(4)两端卡接有限位块。