[实用新型]一种晶片载盘搬运装置

说明书

本实用新型公开了一种晶片载盘搬运装置，包括：支架、X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨和晶片载盘，所述支架底部通过螺钉固定连接有支架底板，所述支架顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨，所述X轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨，所述Z轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板，本实用新型在Z轴运动滑轨带动夹爪升降的过程中，在夹爪与晶片载盘接触之前，晶片吸嘴首先与晶片载盘相接触，此时Z轴运动滑轨带动夹爪继续下降，此时导柱导套组件内部的弹簧受压缩，进行缓冲，保护了晶片载盘不受夹爪的碰撞，大大提高了整个搬运装置的运行稳定性与安全可靠性，保证了搬运效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种晶片载盘搬运装置。

背景技术

在半导体工业中，随着芯片生产向着高速,连续化方式发展，人工装夹的方式无法适应，半导体晶片加工设备一般使用自动的或机器人晶片搬运装置，使晶片移动至加工设备内部。

但是，传统的晶片载盘搬运装置在使用过程中存在一些弊端，比如：

传统的晶片载盘搬运装置在夹爪移动过程，装载过程可靠性和稳定性差，特别是在夹爪升降过程中容易对载盘产生碰撞，对载盘造成损伤，同时影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片载盘搬运装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片载盘搬运装置，包括：支架、X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨和晶片载盘，所述支架底部通过螺钉固定连接有支架底板，所述支架顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨，所述X轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨，所述Z轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板，所述夹爪固定板一侧底部通过螺钉固定连接有夹爪，所述夹爪底部之间卡接有晶片载盘，所述夹爪顶部一侧通过螺钉固定连接有导柱固定板，所述导柱固定板一侧内部卡接有导柱导套组件，所述导柱导套组件底部一端卡接有晶片吸嘴。

进一步的，所述X轴运动滑轨一侧与支架连接处通过螺钉固定连接有X轴联接板。

进一步的，所述Z轴运动滑轨一侧与X轴运动滑轨连接处通过螺钉固定连接有Z轴联接板。

进一步的，所述导柱导套组件的导柱与导套之间卡接有弹簧。

进一步的，所述夹爪为四爪气动夹爪。

进一步的，所述X轴运动滑轨与Z轴运动滑轨两端卡接有限位块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置的X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨以及夹爪，实现了在晶片载盘搬运装置使用时，通过X轴运动滑轨带动Z轴运动滑轨、夹爪固定板、夹爪及其组件进行X轴方向的移动，通过Z轴运动滑轨带动夹爪固定板、夹爪及其组件进行Z轴方向的移动，在Z轴运动滑轨带动夹爪升降的过程中，在夹爪与晶片载盘接触之前，晶片吸嘴首先与晶片载盘相接触，此时Z轴运动滑轨带动夹爪继续下降，此时导柱导套组件内部的弹簧受压缩，进行缓冲，便于夹爪与晶片载盘接触时的缓冲，当夹爪与晶片载盘接触以后，Z轴运动滑轨停止，此时夹爪上气缸带动夹爪夹取晶片载盘，通过导柱导套组件以及晶片吸嘴的缓冲，保护了晶片载盘不受夹爪的碰撞，大大提高了整个搬运装置的运行稳定性与安全可靠性，保证了搬运效率。

附图说明

图1为本实用新型整体主视结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图3为本实用新型整体左视结构示意图；

图4为本实用新型图3中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型整体俯视结构示意图；

图6为本实用新型整体轴测图。