[实用新型]一种承载晶元的扩晶环

权利要求书

1.一种承载晶元的扩晶环，包括母环(1)和子环(2)，所述子环(2)的外壁一体化设置有卡块(3)，所述母环(1)的内壁设置有供所述卡块(3)卡合的卡槽(4)，其特征在于：所述卡槽(4)的内侧设置有多个沿着所述母环(1)圆周分布的压板(6)，所述母环(1)的外壁设置有紧固槽(7)，所述紧固槽(7)中连接有弹性紧固环(8)，所述弹性紧固环(8)的一侧设置有缺口，所述缺口处连接有紧固件，所述紧固槽(7)与所述卡槽(4)之间设置有相连通的滑孔(12)，所述滑孔(12)中滑动连接有压杆(13)，所述压杆(13)的一端与所述压板(6)固定连接，所述压杆(13)的另一端与所述弹性紧固环(8)相抵。

2.根据权利要求1所述的一种承载晶元的扩晶环，其特征在于：所述压杆(13)远离所述压板(6)的端部设置有球形槽，所述球形槽中活动连接有滚珠(14)，所述滚珠(14)的球直径大于所述球形槽的槽口直径。

3.根据权利要求2所述的一种承载晶元的扩晶环，其特征在于：所述压杆(13)靠近所述滚珠(14)的端部固定套接有限位环(15)，所述限位环(15)的直径大于所述滑孔(12)的孔径。

4.根据权利要求1所述的一种承载晶元的扩晶环，其特征在于：所述紧固件包括一对固定块(9)和用于连接一对所述固定块(9)的紧固螺栓(10)，一对所述固定块(9)分别固定连接于所述弹性紧固环(8)的两端部。

5.根据权利要求4所述的一种承载晶元的扩晶环，其特征在于：所述固定块(9)远离所述弹性紧固环(8)的端部设置有凹槽(11)，所述凹槽(11)位于一对所述固定块(9)相互远离的端面。

6.根据权利要求1所述的一种承载晶元的扩晶环，其特征在于：所述弹性紧固环(8)的内壁固定连接有限位滑块(17)，所述限位滑块(17)卡于所述紧固槽(7)中并可沿着所述紧固槽(7)滑动。

7.根据权利要求1所述的一种承载晶元的扩晶环，其特征在于：所述压板(6)与所述卡槽(4)的内壁之间固定连接有压缩弹簧(16)，所述卡槽(4)的槽口处固定连接有弹性防尘膜(5)。