[实用新型]一种半导体芯片用化学品在线加热机构

权利要求书

1.一种半导体芯片用化学品在线加热机构，包括安装台（1），其特征在于：所述安装台（1）顶部的右侧固定安装有立杆（3），所述立杆（3）左侧的顶部固定安装有连接杆（4），所述连接杆（4）顶部的右侧固定安装有容纳箱（5），所述连接杆（4）底部的中心处固定安装有吸风头（9），所述安装台（1）顶部的中心处固定安装有底座（12），所述底座（12）顶部的两侧均固定安装有限位架（14），所述限位架（14）的内腔设置有移动杆（11），所述底座（12）顶部的中心处设置有活动架（16），所述活动架（16）的两侧通过第一限位销活动连接有活动杆（13），所述安装台（1）的内部开设有卡槽（17），所述卡槽（17）的内部固定安装有气缸（15），所述容纳箱（5）内腔的右侧固定安装有风机（20），所述容纳箱（5）内腔的两侧均开设有通槽（18），所述容纳箱（5）的内腔设置有过滤板（19）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用化学品在线加热机构，其特征在于：所述活动杆（13）的顶部通过第二限位销活动连接有保护夹杆（10），所述保护夹杆（10）的底部通过第三限位销与移动杆（11）相对靠近的一侧活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用化学品在线加热机构，其特征在于：所述气缸（15）贯穿底座（12）的顶部与活动架（16）的底部固定连接，所述安装台（1）底部的两侧均固定安装有支腿。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用化学品在线加热机构，其特征在于：所述容纳箱（5）的左侧连通有导管（2），所述导管（2）贯穿连接杆（4）的底部与吸风头（9）的顶部连通。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用化学品在线加热机构，其特征在于：所述容纳箱（5）的右侧连通有排气管（8），所述过滤板（19）的顶部和底部均固定安装有移动块（21），所述移动块（21）通过通槽（18）贯穿至容纳箱（5）的内部。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用化学品在线加热机构，其特征在于：所述容纳箱（5）正面左侧的顶部和底部均固定安装有铰链（6），所述铰链（6）的右侧活动连接有检修门（7）。