[实用新型]一种真空掩膜镀膜装置

权利要求书

1.一种真空掩膜镀膜装置，其特征在于，包括：掩膜板(1)，承载板(3)和固定部件(4)，所述固定部件(4)包括边框，设置在所述边框上的若干弹簧针固定条(52)，设置在所述弹簧针固定条(52)上的若干弹簧针组件(53)；

所述承载板(3)和所述固定部件(4)通过连接组件连接，所述掩膜板(1)设置在所述承载板(3)和所述固定部件(4)之间，通过调整所述承载板(3)和所述固定部件(4)之间的距离，将所述弹簧针组件(53)压设在所述掩膜板(1)上，并将所述掩膜板(1)固定在所述承载板(3)上。

2.根据权利要求1所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述弹簧针组件(53)包括弹簧针套(56)，弹性件(57)，弹簧针(54)，所述弹簧针(54)伸缩性设置在所述弹簧针套(56)的弹簧针套第一端(61)中，所述弹性件(57)设置在所述弹簧针(54)和所述弹簧针套(56)的弹簧针套第二端(62)之间。

3.根据权利要求2所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述弹簧针组件(53)还包括调整螺栓(55)，所述调整螺栓设置在所述弹簧针套(56)的弹簧针套第二端(62)。

4.根据权利要求3所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述连接组件包括：固定设置在所述承载板上的若干第一固定柱(46)，在所述边框上与所述第一固定柱(46)对应设置的若干固定孔(43)，在所述边框上与所述固定孔(43)对应设置的若干紧固螺钉(45)，所述固定孔(43)的直径大于所述第一固定柱(46)的直径，所述第一固定柱(46)穿过所述固定孔(43)中，通过调整所述紧固螺钉(45)，将所述边框与所述固定柱(46)固定连接。

5.根据权利要求3所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述连接组件包括：固定设置在所述承载板上的若干第二固定柱(63)，在所述边框上与所述第二固定柱(63)对应设置的若干固定孔(43)，在所述边框上与所述固定孔(43)对应设置的若干定位销钉(44)，所述第二固定柱(63)上设置有若干定位孔(49)，所述固定孔(43)的直径大于所述第二固定柱(63)的直径，所述第二固定柱(63)穿过所述固定孔(43)中，所述定位销钉(44)卡入所述定位孔(49)中将所述边框与所述第二固定柱(63)固定连接。

6.根据权利要求4或5所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述边框上设置有相对应的连接孔，所述弹簧针固定条(52)两端分别设置有连接柱(50)，所述连接柱(50)分别设置在所述相对应的连接孔中，所述弹簧针固定条(52)通过所述连接柱(50)固定设置在所述边框上。

7.根据权利要求4或5所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述边框上设置有相对应的连接槽(48)，所述弹簧针固定条(52)两端分别设置有连接柱(50)，所述连接柱(50)分别设置在所述相对应的连接槽(48)中，所述弹簧针固定条(52)通过所述连接柱(50)固定设置在所述边框上。

8.根据权利要求2所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述弹簧针(54)的弹簧针端部(58)呈半圆弧形。

9.根据权利要求2所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述弹簧针(54)的弹簧针端部(58)设置有保护套(60)。

10.根据权利要求1所述的真空掩膜镀膜装置，其特征在于，所述弹簧针固定条(52)和所述弹簧针组件(53)均采用非导磁的金属材料。