[实用新型]一种半导体用抛光机台

权利要求书

1.一种半导体用抛光机台，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）顶部一侧固定连接有安装架（2），所述安装架（2）底部一侧设有液压缸（3），所述液压缸（3）输出轴设置有驱动电机（4），所述驱动电机（4）输出轴设置有抛光刀轮（16）；

所述工作台（1）内部开设有凹槽（5），所述凹槽（5）外壁开设有滑槽（6），所述滑槽（6）内壁设有移动架（7），所述移动架（7）外壁两侧均固定连接有滑杆（8），所述移动架（7）内壁两侧均固定连接有安装板（9），两个所述安装板（9）关于移动架（7）中轴线处对称设置，所述安装板（9）内壁开设有安装螺孔（10），所述安装螺孔（10）的数量设置为多个；

所述移动架（7）内部设有筛网（12），所述筛网（12）与移动架（7）相匹配，所述筛网（12）外壁两侧均固定连接有固定板（13），所述固定板（13）与安装板（9）相匹配，所述固定板（13）内壁开设有固定螺孔（14），所述固定螺孔（14）的数量与安装螺孔（10）相对应，固定螺孔（14）内壁螺纹连接有安装螺栓（15），所述安装螺栓（15）与安装螺孔（10）相匹配；

所述凹槽（5）内壁一侧设有风管（25），所述风管（25）位于筛网（12）底部一侧，所述风管（25）内壁一侧设有吸嘴（26），所述吸嘴（26）的数量设置为多个，所述工作台（1）外壁一侧设有收集箱（23），所述收集箱（23）外壁一侧设有风机（24），所述风机（24）输出轴贯穿收集箱（23）延伸至收集箱（23）内壁一侧，所述风机（24）输入端贯穿工作台（1）延伸至风管（25）内壁一侧。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用抛光机台，其特征在于：所述移动架（7）外壁一侧设有手柄（11），所述手柄（11）外壁一侧为弧形设置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用抛光机台，其特征在于：所述筛网（12）顶部设有放置板（17），所述放置板（17）位于抛光刀轮（16）正下方，所述放置板（17）内壁两侧均插接有丝杆（18），所述丝杆（18）与放置板（17）螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体用抛光机台，其特征在于：所述丝杆（18）外壁一侧贯穿工作台（1）延伸至工作台（1）外壁一侧，所述丝杆（18）与工作台（1）连接处设有第一轴承，所述丝杆（18）通过第一轴承与工作台（1）转动连接，所述丝杆（18）外壁一侧设有第一把手（19）。

5.根据权利要求3所述的一种半导体用抛光机台，其特征在于：所述放置板（17）顶部两侧均设有紧固板（20），所述紧固板（20）外壁一侧设有螺杆（21），所述螺杆（21）贯穿工作台（1）延伸至工作台（1）外壁一侧。

6.根据权利要求5所述的一种半导体用抛光机台，其特征在于：所述螺杆（21）与工作台（1）和紧固板（20）连接处均设有第二轴承，所述螺杆（21）通过第二轴承分别与紧固板（20）和工作台（1）转动连接，所述螺杆（21）外壁一侧设有第二把手（22）。