[实用新型]一种用于旋转靶材氦泄漏检测的治具有效
| 申请号： | 202121701984.8 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN215811460U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;闻人湖丹 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22;G01M3/28 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋转 靶材氦 泄漏 检测 | ||
1.一种用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具包括依次连接的法兰、连接管和转接头；
所述法兰的平面上设置有压力表；
所述法兰的结构与旋转靶材的端头相适应；
所述转接头的结构与氦泄漏检测设备的出气口相适应。
2.根据权利要求1所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述法兰的平面上绕圆心均匀分布有4-8个螺栓孔。
3.根据权利要求2所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述螺栓孔与圆心的距离为法兰直径的1/2-4/5。
4.根据权利要求1所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述法兰与旋转靶材的端头连接处开设有密封槽；
所述密封槽的深度为1-3cm。
5.根据权利要求4所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述压力表设置在密封槽和法兰圆心之间的区域。
6.根据权利要求1所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述连接管的内径为0.5-2cm。
7.根据权利要求1所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述转接头包括依次连接的气体缓冲端头和限位环。
8.根据权利要求7所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述气体缓冲端头的内径为1-3cm。
9.根据权利要求7所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述限位环的外径为3-5cm。
10.根据权利要求1所述用于旋转靶材氦泄漏检测的治具，其特征在于，所述法兰的直径为20-30cm。
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