[实用新型]一种石墨舟片卡钉更换设备有效
申请号: | 202121709313.6 | 申请日: | 2021-07-26 |
公开(公告)号: | CN215404510U | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 潘健;许凤新;殷文杰;郭良伟;曹利运;刘月良;金俊强;岳胜斌;殷科平;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 贾振勇 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 舟片卡钉 更换 设备 | ||
本实用新型适用石墨舟片卡钉安装技术领域,提供了一种石墨舟片卡钉更换设备,包括:机架;设于机架上、用于放置石墨舟片的拆装钉平台,拆装钉平台设有与石墨舟片上的旧卡钉相对应的通孔;拆装钉装置,拆装钉装置包括设置于机架上的驱动机构、拆钉模组、装钉模组及用于收集旧卡钉的废钉收集模组,驱动机构、拆钉模组及装钉模组分别与一控制装置相连;驱动机构可带动拆钉模组与装钉模组运动到每个通孔的上方,且驱动机构可带动废钉收集模组运动到每个通孔的下方并与拆钉模组相对。本实用新型提供的石墨舟片卡钉更换设备可实现石墨舟片卡钉的自动更换,提升了卡钉更换效率,且拆卸旧卡钉过程中可实现旧卡钉的临时收纳功能,便于旧卡钉的临时储存。
技术领域
本实用新型涉及石墨舟片卡钉更换技术领域,具体涉及一种石墨舟片卡钉更换设备。
背景技术
随着太阳能电池的迅猛发展,越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中,镀膜工艺是生产流程中的重要环节,起到举足轻重的作用。硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入石墨舟内,然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中,采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。由于硅片在插取过程中会对石墨舟的石墨舟片有一定的磨损,需要定期将石墨舟片上的旧卡钉从卡钉孔内拆卸,并将新卡钉装入对应的卡钉孔,实现卡钉的更换,以便保证石墨舟的良好状态,进而保证硅片的镀膜质量。
现有技术中,为了实现石墨舟片的卡钉更换,通常需要人工将石墨舟片上的旧卡钉从卡钉孔拆卸下来,并将新卡钉重新装入卡钉孔,实现石墨舟片的卡钉更换。为了提升卡钉更换的更换效率,市面上出现了用于拆装石墨舟片卡钉的石墨舟片卡钉更换设备,但目前市面上的石墨舟片卡钉更换设备通常没有用于临时收纳拆卸下来的旧卡钉的废钉收集装置,无法实现旧卡钉的临时收纳功能,不便旧卡钉的临时储存。
实用新型内容
本实用新型提供一种石墨舟片卡钉更换设备,旨在解决现有技术中的石墨舟片卡钉更换设备无法实现旧卡钉的临时收纳功能,不便旧卡钉的临时储存的问题。
本实用新型是这样实现的,提供一种石墨舟片卡钉更换设备,包括:
机架;
设于所述机架上、用于吸附固定石墨舟片的拆装钉平台,所述拆装钉平台设有与所述石墨舟片上的旧卡钉相对应的通孔;
拆装钉装置,所述拆装钉装置包括设置于所述机架上的驱动机构、用于将所述石墨舟片上的旧卡钉进行拆卸的拆钉模组、用于将新卡钉安装至所述石墨舟片的卡钉孔内的装钉模组、及用于收集所述旧卡钉的废钉收集模组,所述驱动机构、所述拆钉模组及所述装钉模组分别与一控制装置相连;所述拆钉模组及所述装钉模组设置于所述拆装钉平台上方并与所述驱动机构连接,所述废钉收集模组设置于所述拆装钉平台下方并与所述驱动机构连接,所述驱动机构可带动所述拆钉模组与所述装钉模组运动到每个所述通孔的上方,且所述驱动机构可带动所述废钉收集模组到每个所述通孔的下方并与所述拆钉模组相对。
优选的,所述驱动机构包括:
设置于所述机架上并与所述控制装置相连的第一驱动组件;
与所述第一驱动组件连接的上移动座;
设置于所述上移动座并与所述控制装置相连的第二驱动组件,所述第二驱动组件与所述拆钉模组连接;
设置于所述拆装钉平台下方与所述第一驱动组件连接的下移动座;及
设置于所述下移动座的第三驱动组件,所述废钉收集模组与所述第三驱动组件连接;
所述第一驱动组件可带动所述上移动座及所述下移动座沿Y轴方向运动,以使所述拆钉模组和所述废钉收集模组同步沿Y轴方向运动;所述第二驱动组件可带动所述拆钉模组沿X轴方向运动,所述第三驱动组件可带动所废钉收集模组沿X轴方向运动。
优选的,所述废钉收集模组包括:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的