[实用新型]一种倾斜式的晶圆片冲水花篮有效
| 申请号： | 202121729696.3 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN215418125U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 黄惠莺;薛正群;邓彪 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 陈方淮;蔡学俊 |
| 地址： | 362712 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 晶圆片 冲水 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：包括倾斜放置冲洗台，所述冲洗台内部中空，其冲洗端面为圆形且端面上开设若干圆孔与内部相通，所述冲洗台下端面水平并与增高垫固连支撑，所述冲洗台沿冲洗端面外周间隔朝外凸出有若干凸块；远离冲洗台端面一端的冲洗台上固连有竖向上延伸的支杆。
2.根据权利要求1所述的一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：所述冲洗台一体成型，下端面呈椭圆状，所述增高垫竖向设置且截面呈椭圆状与冲洗台对接。
3.根据权利要求2所述的一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：所述增高垫内部竖向贯通呈管状与冲洗台相通。
4.根据权利要求1所述的一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：所述凸块均与冲洗端面垂直且冲洗端面顶端不设凸块以供冲水端冲洗。
5.根据权利要求1所述的一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：所述冲洗端面与冲洗台底端水平面之间的倾角为40°。
6.根据权利要求1所述的一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：所述凸块设有12块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
