[实用新型]用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置

权利要求书

1.用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置,包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）上方一侧设有垫板（2），所述垫板（2）上方一侧设有若干垫块（3），所述垫块（3）上方设有支撑板（4），所述支撑板（4）上方设有若干垫片（5），所述垫片（5）上方位于所述支撑板（4）相邻一侧设有推板（6），所述推板（6）一侧与第一气缸（7）输出端固定连接，所述基座（1）一端设有立板（8），所述立板（8）上方一侧设有安装板（9），所述安装板（9）上方固定连接有第二气缸（10），所述第二气缸（10）输出端与隔板（11）固定连接，所述隔板（11）下方设有若干吸盘（12）。

2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述垫片（5）在所述支撑板（4）上呈阵列分布，所述支撑板（4）上开设有若干通风口（13），所述通风口（13）设于相邻的所述垫片（5）之间，所述垫片（5）顶端设有橡胶保护层（14）。

3.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述推板（6）一端设有挡板（15），所述挡板（15）一侧贯穿连接有螺杆（16），所述挡板（15）内部设有与所述螺杆（16）螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板（15）与所述螺杆（16）通过螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述螺杆（16）一端设有夹座（17），所述夹座（17）上位于所述螺杆（16）上下两侧设有伸缩杆（18），所述螺杆（16）在所述夹座（17）内部呈T形并在所述夹座（17）内部转动连接，所述夹座（17）一侧设有滚筒（19），所述滚筒（19）在所述夹座（17）内部转动连接。

5.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述推板（6）底部设有若干档条（20），所述档条（20）设于相邻的所述垫片（5）的中心线上，所述推板（6）底部高度高于所述垫片（5）顶端高度。

6.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述隔板（11）上方两侧设有导向杆（21），所述吸盘（12）设于所述隔板（11）下方两侧并呈一字排列。