[实用新型]用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置

说明书

本实用新型涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸。本实用新型通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量。

技术领域

本实用新型涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，属于芯片加工技术领域。

背景技术

蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

在加工蓝宝石衬底时需要使用曝光机，曝光机内的板件需要将多种部件承载堆叠并紧紧固定，目前使用的保持装置由于不同板件的尺寸不同，对板件的位置不易有效定位，并且设备内的温度较高时容易使板件发生变形或弯折，影响生产使用，因此，需要一种用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置,包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸，所述第二气缸输出端与隔板固定连接，所述隔板下方设有若干吸盘。

进一步的，所述垫片在所述支撑板上呈阵列分布，所述支撑板上开设有若干通风口，所述通风口设于相邻的所述垫片之间，所述垫片顶端设有橡胶保护层。

进一步的，所述推板一端设有挡板，所述挡板一侧贯穿连接有螺杆，所述挡板内部设有与所述螺杆螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板与所述螺杆通过螺纹连接。

进一步的，所述螺杆一端设有夹座，所述夹座上位于所述螺杆上下两侧设有伸缩杆，所述螺杆在所述夹座内部呈T形并在所述夹座内部转动连接，所述夹座一侧设有滚筒，所述滚筒在所述夹座内部转动连接。

进一步的，所述推板底部设有若干档条，所述档条设于相邻的所述垫片的中心线上，所述推板底部高度高于所述垫片顶端高度。

进一步的，所述隔板上方两侧设有导向杆，所述吸盘设于所述隔板下方两侧并呈一字排列。

本实用新型的有益效果是：

1、通过在支撑板上设置垫片，各个垫片独立设置且垫片之间预留一定空隙，从而在将板件固定时，减少板件底部与垫片的接触面积，方便板件的热量疏散，并且支撑板上设有多个通风口，通风口设于垫片之间的空隙内，从而可以使板件下方空气可以循环流动，有效降低板件下方的温度，防止板件在承载堆叠时因温度过高而发生变形或弯折，垫片上的橡胶保护垫可以防止板件与垫片硬连接，防止第一气缸推动吸盘按压板件时板件发生断裂，有效保护板件，减少原料浪费，降低生产成本。