[实用新型]一种高纯钌靶生产用打磨装置有效
申请号: | 202121742337.1 | 申请日: | 2021-07-29 |
公开(公告)号: | CN216138727U | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;B24B55/00 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 关璐琪 |
地址: | 450000 河南省郑州市郑州航空港区*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 生产 打磨 装置 | ||
1.一种高纯钌靶生产用打磨装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)上表面的四角处设置有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的顶部固定有支撑板(3),所述支撑板(3)的底部固定连接有打磨机构(4);所述底板(1)上表面的前后两侧均开设有水平的凹槽(17),所述凹槽(17)内转动连接有双向螺纹杆(18),两个所述双向螺纹杆(18)的左端均延伸至所述底板(1)的外侧,且两者之间通过皮带传动连接,其中一个双向螺纹杆(18)上设置有自锁式手轮(16);所述双向螺纹杆(18)上螺纹旋向相反的部分上分别设置有移动块(5),所述移动块(5)与所述双向螺纹杆(18)之间螺纹连接且其卡设在所述凹槽(17)内,所述移动块(5)的上表面设置有伸缩机构,前后两个对应的伸缩机构之间设置有水平的安装杆(9),所述安装杆(9)上套装有用于紧固靶材的夹持组件。
2.如权利要求1所述的一种高纯钌靶生产用打磨装置,其特征在于:所述夹持组件包括滑动套装在所述安装杆(9)上的安装块(10),贯穿所述安装块(10)的水平的固定杆(6);每一根所述安装杆(9)上的安装块(10)均有四个;所述固定杆(6)滑动设置在所述安装块(10)内,且位于所述安装杆(9)的下方;所述固定杆(6)靠近所述底板(1)中间的一端设置有夹持件,所述夹持件分为两组,一组为四个用于夹持矩形靶材的夹持板(12),另一组为四个用于夹持圆柱形靶材的夹持块(13);所述夹持板(12)与所述固定杆(6)之间垂直设置,所述夹持块(13)的夹持面与圆柱形靶材的侧面之间相切;所述安装块(10)上设置有用于将安装块(10)紧固在安装杆(9)上的第一紧固螺栓(11)和用于将固定杆(6)紧固在安装块(10)上的第二紧固螺栓(19);所述第一紧固螺栓(11)贯穿所述安装块(10)并与所述安装块(10)之间螺纹连接,且其端部压紧在与所述安装杆(9)的表面;所述第二紧固螺栓(19)贯穿所述安装块(10)并与所述安装块(10)之间螺纹连接,且其端部压紧在与所述固定杆(6)的表面。
3.如权利要求2所述的一种高纯钌靶生产用打磨装置,其特征在于:所述伸缩机构包括固定在所述移动块(5)上表面的套筒(7),以及套装在所述套筒(7)内的支撑杆(8);所述套筒(7)上从上往下设置有若干个通孔(20),所述支撑杆(8)的底部设置有安装孔,所述支撑杆(8)和所述套筒(7)通过贯穿所述通孔(20)和所述安装孔的螺栓连接。
4.如权利要求3所述的一种高纯钌靶生产用打磨装置,其特征在于:当支撑杆(8)位于所述套筒(7)内的最下方时,所述夹持件的下端与所述底板(1)的上表面抵接。
5.如权利要求3所述的一种高纯钌靶生产用打磨装置,其特征在于:所述支撑杆(8)、所述安装杆(9)、以及所述固定杆(6)的截面均为矩形。
6.如权利要求2所述的一种高纯钌靶生产用打磨装置,其特征在于:所述夹持板(12)与靶材的接触面上、所述夹持块(13)的夹持面上均通过弹簧(15)连接有缓冲板(14);所述缓冲板(14)与靶材的接触面上设置有柔性材料层。
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