[实用新型]一种高纯钌靶生产用打磨装置有效

专利信息
申请号: 202121742337.1 申请日: 2021-07-29
公开(公告)号: CN216138727U 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: B24B41/06 分类号: B24B41/06;B24B55/00
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 关璐琪
地址: 450000 河南省郑州市郑州航空港区*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 生产 打磨 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种高纯钌靶生产用打磨装置,包括底板,所述底板上表面的四角处设置有支撑柱,所述支撑柱的顶部固定有支撑板,所述支撑板的底部固定连接有打磨机构;所述底板的上表面的前后两侧均开设有水平的凹槽,所述凹槽内转动连接有双向螺纹杆,两个所述双向螺纹杆的左端均延伸至所述底板的外侧,且两者之间通过皮带传动连接,其中一个双向螺纹杆上设置有自锁式手轮;所述双向螺纹杆上螺纹旋向相反的部分上分别设置有移动块,所述移动块与所述双向螺纹杆之间螺纹连接且其卡设在所述凹槽内,所述移动块的上表面设置有伸缩机构,前后两个对应的伸缩机构之间设置有水平的安装杆,所述安装杆上套装有用于紧固靶材的夹持组件。

技术领域

本实用新型涉及靶材生产技术领域,具体为一种高纯钌靶生产用打磨装置。

背景技术

高纯钌靶是电子信息技术产业中不可或缺,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。打磨,是表面改性技术的一种,一般指借助粗糙物体(含有较高硬度颗粒的砂纸等)来通过摩擦改变材料表面物理性能的一种加工方法,主要目的是为了获取特定表面粗糙度。

现有的打磨装置,在对靶材进行固定时,用于夹持靶材的夹具其本身的高度时固定的,因此会存在无法根据靶材的高度调整夹具的高度,导致整个夹具无法对靶材进行有效地固定;且现有的夹具局限性较大,不能够同时完成柱状和矩形状靶材的夹持。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯钌靶生产用打磨装置,以解决上述背景技术中所存在的问题。

为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高纯钌靶生产用打磨装置,包括底板,所述底板上表面的四角处设置有支撑柱,所述支撑柱的顶部固定有支撑板,所述支撑板的底部固定连接有打磨机构;所述底板的上表面的前后两侧均开设有水平的凹槽,所述凹槽内转动连接有双向螺纹杆,两个所述双向螺纹杆的左端均延伸至所述底板的外侧,且两者之间通过皮带传动连接,其中一个双向螺纹杆上设置有自锁式手轮;所述双向螺纹杆上螺纹旋向相反的部分上分别设置有移动块,所述移动块与所述双向螺纹杆之间螺纹连接且其卡设在所述凹槽内,所述移动块的上表面设置有伸缩机构,前后两个对应的伸缩机构之间设置有水平的安装杆,所述安装杆上套装有用于紧固靶材的夹持组件。

进一步地,所述夹持组件包括滑动套装在所述安装杆上的安装块,贯穿所述安装块的水平的固定杆;每一根所述安装杆上的安装块均有四个;所述固定杆滑动设置在所述安装块内,且位于所述安装杆的下方;所述固定杆靠近所述底板中间的一端设置有夹持件,所述夹持件分为两组,一组为四个用于夹持矩形靶材的夹持板,另一组为四个用于夹持圆柱形靶材的夹持块;所述夹持板与所述固定杆之间垂直设置,所述夹持块的夹持面与圆柱形靶材的侧面之间相切;所述安装块上设置有用于将安装块紧固在安装杆上的第一紧固螺栓和用于将固定杆紧固在安装块上的第二紧固螺栓;所述第一紧固螺栓贯穿所述安装块并与所述安装块之间螺纹连接,且其端部压紧在与所述安装杆的表面;所述第二紧固螺栓贯穿所述安装块并与所述安装块之间螺纹连接,且其端部压紧在与所述固定杆的表面。

进一步地,所述伸缩机构包括固定在所述移动块上表面的套筒,以及套装在所述套筒内的支撑杆;所述套筒上从上往下设置有若干个通孔,所述支撑杆的底部设置有安装孔,所述支撑杆和所述套筒通过贯穿所述通孔和所述安装块的螺栓连接。

进一步地,当支撑杆位于所述套筒内的最下方时,所述夹持件的下端与所述底板的上表面抵接。

进一步地,所述支撑杆、所述安装杆、以及所述固定杆的截面均为矩形。

进一步地,所述夹持板与靶材的接触面上、所述夹持块的夹持面上均通过弹簧连接有缓冲板;所述缓冲板与靶材的接触面上设置有柔性材料层。

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