[实用新型]一种镀膜用载具及镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜用载具，其特征在于，包括：

承载座，用于承载待镀膜的基材；

掩膜板，具有一个或多个镀膜口；掩膜板盖设于基材之上并固定安装于承载座，以通过镀膜口对基材的目标位置进行镀膜；

其中，掩膜板具有提拉部；通过机械提拉或磁力作用于掩膜板的提拉部，以使掩膜板脱离基材。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述提拉部为提手，位于掩膜板背向承载座的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述提拉部有数个，沿掩膜板的周向均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述承载座设有定位件，掩膜板具有与定位件定位配合的定位孔；或者，所述承载座具有定位孔，掩膜板具有与定位孔定位配合的定位件；

其中，定位孔和定位件与基材错位。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述掩膜板有多块，各掩膜板的定位孔或定位件的结构不同。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述承载座具有面向掩膜板开设的第一固定孔，掩膜板具有对应第一固定孔的第二固定孔；所述镀膜用载具还包括固定件，固定件依次穿设于第二固定孔、第一固定孔，以将掩膜板固定于承载座。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述提拉部为掩膜板周缘延伸的凸耳。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述承载座具有数个安装位，其中至少两安装位分别位于承载座的两侧；所述安装位用于安装掩膜板；

承载座的一侧设有转轴安装座，转轴安装座安装有转轴，转轴用于联动承载座转动。

9.根据权利要求8所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述承载座的另一侧设有翻转支撑件，用于对翻转至目标位置的承载座进行定位。

10.一种镀膜设备，其特征在于，采用如权利要求1-9任一项所述的镀膜用载具。