[实用新型]一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置

权利要求书

1.一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置，其特征在于，包括滚柱（1），所述滚柱（1）外圆周面覆盖有一层抛光布（2）且滚柱（1）横向两侧分别设有用于对抛光布（2）固定的定位装置，所述滚柱（1）经动力装置驱动；

所述抛光布（2）呈螺旋缠绕在滚柱（1）外圆周面上且相邻段抛光布（2）之间紧密贴合接触；

所述定位装置包括可拆卸安装在滚柱（1）横向两侧的环形卡箍（3）。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置，其特征在于，所述环形卡箍（3）包括两相配合的半圆形紧固环（4），相配合的两半圆形紧固环（4）之间经内六角螺丝（5）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置，其特征在于，其中一个半圆形紧固环（4）上下两端分别设有螺丝孔（6），另一半圆形紧固环（4）上下两端相应位置设有螺帽孔（7），所述内六角螺丝（5）经螺丝孔（6）、螺帽孔（7）实现将两相配合的半圆形紧固环（4）固定连接。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置，其特征在于，所述滚柱（1）横向两侧圆周面上设有若干锯齿（8）且锯齿（8）经链传动与动力装置连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置，其特征在于，所述滚柱（1）由pp塑胶加工而成。

6.根据权利要求4所述的一种用于硅片清洗机碱洗槽的硅片旋转装置，其特征在于，所述抛光布（2）由合成纤维加工而成。