[实用新型]圆形平面阴极挡板

权利要求书

1.一种圆形平面阴极挡板，包括支撑杆、挡板和连接机构，其特征在于所述连接机构（1）设置在支撑杆（2）上，所述连接机构（1）包括了固定连接装置（3）和转动连接装置（4），所述挡板（5）通过固定连接装置（3）与支撑杆（2）连接，所述转动连接装置（4）与磁控阴极（6）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种圆形平面阴极挡板，其特征在于：所述固定连接装置（3）设置在支撑杆（2）的上端，所述固定连接装置（3）包括了定位板（7）和锁紧螺母（8），所述定位板（7）和锁紧螺母（8）都与支撑杆（2）螺纹连接，所述挡板（5）的一端活动套接在支撑杆（2）上，刚好处在定位板（7）和锁紧螺母（8）之间。

3.根据权利要求2所述的一种圆形平面阴极挡板，其特征在于：所述定位板（7）与挡板（5）之间为可拆卸连接，所述锁紧螺母（8）与挡板（5）之间的支撑杆（2）上还设有弹簧垫片。

4.根据权利要求1所述的一种圆形平面阴极挡板，其特征在于：所述转动连接装置（4）套接在支撑杆（2）下端设有的定位槽中,所述转动连接装置（4）上设有轴承（9），所述轴承（9）使转动连接装置（4）可相对支撑杆（2）转动。

5.根据权利要求4所述的一种圆形平面阴极挡板，其特征在于：所述支撑杆（2）设置有卡簧（10），所述卡簧（10）设置在转动连接装置（4）的上方，阻止转动连接装置（4）的上下一定。

6.根据权利要求4所述的一种圆形平面阴极挡板，其特征在于：所述转动连接装置（4）的上表面设置有安装凸起（11），所述磁控阴极（6）通过安装凸起（11）安装在转动连接装置（4）上。