[实用新型]圆形平面阴极挡板

说明书

本实用新型公开了一种圆形平面阴极挡板，其结构包括支撑杆、挡板和连接机构，其特征在于连接机构设置在支撑杆上，连接机构包括了固定连接装置和转动连接装置，挡板通过固定连接装置与支撑杆连接，转动连接装置与磁控阴极相连接。通过固定连接装置多点固定挡板，来防止摩擦力降低后挡板相对支撑杆转动的问题。

技术领域

本实用新型属于磁控溅射领域，具体涉及一种圆形平面阴极挡板。

背景技术

圆形磁控阴极为磁控溅射的核心部件，在真空状态下通入氩气，阴极靶材加负偏压，从而电离氩气变成氩离子，氩离子轰击靶材，将靶材材料溅射出来，沉积到基片上。开始工作时，靶材表面会有挡板，让靶材溅射一段时间，将靶材表面的氧化层打掉，然后打开挡板将纯的靶材材料沉积到基片上。

但是挡板随着螺杆移动并开关，镀膜环境温度较高时，摩檫力会变小，或者螺母会松，导致螺杆转动，挡板不动。

实用新型内容

本实用新型通过固定连接装置多点固定挡板，来防止摩擦力降低后挡板相对支撑杆转动的问题。

一种圆形平面阴极挡板，包括支撑杆、挡板和连接机构，其特征在于连接机构设置在支撑杆上，连接机构包括了固定连接装置和转动连接装置，挡板通过固定连接装置与支撑杆连接，转动连接装置与磁控阴极相连接。

作为优选，固定连接装置设置在支撑杆的上端，固定连接装置包括了定位板和锁紧螺母，定位板和锁紧螺母都与支撑杆螺纹连接，挡板的一端活动套接在支撑杆上，刚好处在定位板和锁紧螺母之间。

作为优选，定位板与挡板之间为可拆卸连接，锁紧螺母与挡板之间的支撑杆上还设有弹簧垫片。

作为优选，转动连接装置套接在支撑杆下端设有的定位槽中,转动连接装置上设有轴承，轴承使转动连接装置可相对支撑杆转动。

作为优选，支撑杆设置有卡簧，卡簧设置在转动连接装置的上方，阻止转动连接装置的上下一定。

作为优选，转动连接装置的上表面设置有安装凸起，磁控阴极通过安装凸起安装在转动连接装置上。

本实用新型的优点有：

定位板和锁紧螺母都可以在支撑杆上，通过螺纹转动来调节高低位置，有可以相对移动靠近来夹紧挡板，上下之间还有弹簧垫片来增加对挡板的夹紧力，同时也让定位板和锁紧螺母在支撑杆的螺纹上的位置固定下来。在挡板上开设了凹槽，能正好与定位板的凸起相配合安装，致使挡板只能与定位板同时转动，并且在定位板和锁紧螺母通过螺母靠紧时，挡板也就被固定了，只能随支撑杆转动了。在磁控阴极运转中，挡板的温度上升也不会影响支撑杆与挡板的同步转动。

支撑杆的下端设有定位槽，刚好使转动连接装置中的轴承套接在其中，转动连接装置即可绕支撑杆转动，或是支撑杆转动，转动连接装置可保持相对静止。在轴承上还有卡簧将轴承按压固定在定位槽中，防止转动连接装置上下的跳动，使转动连接装置上安装着的磁控阴极更加平稳的运转。也可在支撑杆上同样方式安装多个转动连接装置来支撑一个磁控阴极，或是分别安装多个磁控阴极同时工作。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型固定连接装置结构示意图。

图3为本实用新型转动连接装置结构示意图。

图示中，连接机构1、支撑杆2、固定连接装置3、转动连接装置4、挡板5、磁控阴极6、定位板7、锁紧螺母8、轴承9、卡簧10、安装凸起11。

具体实施方式

如图1-3所示，一种圆形平面阴极挡板，包括支撑杆、挡板和连接机构，其特征在于连接机构1设置在支撑杆2上，连接机构1包括了固定连接装置3和转动连接装置4，挡板5通过固定连接装置3与支撑杆2连接，转动连接装置4与磁控阴极6相连接。