[实用新型]一种光伏电池用硅片载具清洗设备

权利要求书

1.一种光伏电池用硅片载具清洗设备，其特征在于：包括工作台(1)、移动模组(2)、和清洗机构(3)，所述移动模组(2)设于工作台(1)上，所述清洗机构(3)设于移动模组(2)上，所述清洗机构(3)包括激光发生器(31)、光学整形镜组(32)、聚焦透镜(33)和扫描振镜(34)，所述激光发生器(31)通过光纤(35)与光学整形镜组(32)连接，所述光学整形镜组(32)用于将激光发生器(31)生成的激光整形成平行光束，所述聚焦透镜(33)用于对整形后的激光进行聚焦，所述扫描振镜(34)用于接收聚焦后的点光束(4)，并带动点光束(4)移动，所述清洗机构(3)的一侧设有除尘装置(5)，所述除尘装置(5)用于将清洗产生的气体及粉尘吸除并回收。

2.根据权利要求1所述的光伏电池用硅片载具清洗设备，其特征在于：所述移动模组(2)包括X轴移动模块(21)、Y轴移动模块(22)和Z轴移动模块(23)，所述Y轴移动模块(22)设于工作台(1)上，所述X轴移动模块(21)设于Y轴移动模块(22)上，所述Z轴移动模块(23)设于X轴移动模块(21)上，所述清洗机构(3)设于Z轴移动模块(23)上。

3.根据权利要求2所述的光伏电池用硅片载具清洗设备，其特征在于：所述除尘装置(5)设于Z轴移动模块(23)上。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的光伏电池用硅片载具清洗设备，其特征在于：所述扫描振镜(34)包括第一电机(341)、第一扫描振镜片(342)、第二电机(343)和第二扫描振镜片(344)，所述第一扫描振镜片(342)设于第二扫描振镜片(344)的上方，所述第一扫描振镜片(342)用于接收聚焦后的点光束(4)，所述第二扫描振镜片(344)用于接收第一扫描振镜片(342)上的点光束(4)，所述第一电机(341)驱动第一扫描振镜片(342)摆动，所述第二电机(343)用于驱动第二扫描振镜片(344)摆动。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的光伏电池用硅片载具清洗设备，其特征在于：所述工作台(1)上设有传输机构(6)，所述清洗机构(3)设于传输机构(6)的上方。

6.根据权利要求5所述的光伏电池用硅片载具清洗设备，其特征在于：所述清洗设备还包括翻转模组(7)，所述翻转模组(7)包括顶升机构(71)、夹持机构(72)和翻转机构(73)，所述顶升机构(71)设于工作台(1)上，所述翻转机构(73)设于顶升机构(71)上，所述夹持机构(72)设于翻转机构(73)上，所述夹持机构(72)设于传输机构(6)的上方。