[实用新型]一种光伏电池用硅片载具清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种光伏电池用硅片载具清洗设备，包括工作台、移动模组、和清洗机构，移动模组设于工作台上，清洗机构设于移动模组上，清洗机构包括激光发生器、光学整形镜组、聚焦透镜和扫描振镜，激光发生器通过光纤与光学整形镜组连接，光学整形镜组用于将激光发生器生成的激光整形成平行光束，聚焦透镜用于对整形后的激光进行聚焦，扫描振镜用于接收聚焦后的点光束，并带动点光束移动。本实用新型采用激光清洗方式实现板框的沉积薄膜去除，清洗效率高，不会对环境造成污染。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片的制备领域，尤其涉及一种光伏电池用硅片载具清洗设备。

背景技术

在太阳能光伏领域当中，薄膜沉积是至关重要的工艺环节之一，其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜并成长的过程。光伏镀膜设备中电池用硅片载板会随着工艺镀膜时间增长而镀上一定厚度的薄膜，这些薄膜会影响到后续工艺效果。

目前行业内主流的沉积薄膜去除方式主要分为人工清洗和工业清洗设备进行清洗，对于不同类型薄膜的处理方式各有不同。

1)对于PERC设备生成的氮化硅和氧化铝薄膜，通常为作业人员使用冲击钻、凿子等工具去除，这种采用传统的人工清洗方式，工作效率十分低下，处理大尺寸载板时人工面临着中间区域难以轻易触碰等难题。同时，清理过程中产生的大量粉尘容易被人吸入，影响人员身体健康。

2)对于非晶硅薄膜，通常采用F离子进行离子轰击清洗，然而F离子轰击所携带能量过高，清洗的同时会去除载板、挂板等工件的基体，长期使用会造成尺寸偏差甚至无法使用。

3)对于PVD设备，工业清洗方式为采用喷砂方式处理,部分辅助高速水射流进行去除。喷砂工艺主要分为前道溶剂浸泡和后道喷砂两步，在喷砂处理前需在浸泡池中采用特定溶剂降低目标工件表层ITO膜层的附着性，以便后续的喷砂去除。之后进行的喷砂操作需搭建相应的喷砂操作间。这种清洗方式，无论是前道化学处理，还是喷砂处理，均需要搭建相应的作业环境，尤其是后道喷砂工艺的操作间充斥大量粉尘，会对环境造成影响。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种采用激光清洗方式实现板框的沉积薄膜去除，清洗效率高，不会对环境造成污染的光伏电池用硅片载具清洗设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种光伏电池用硅片载具清洗设备，包括工作台、移动模组、和清洗机构，所述移动模组设于工作台上，所述清洗机构设于移动模组上，所述清洗机构包括激光发生器、光学整形镜组、聚焦透镜和扫描振镜，所述激光发生器通过光纤与光学整形镜组连接，所述光学整形镜组用于将激光发生器生成的激光整形成平行光束，所述聚焦透镜用于对整形后的激光进行聚焦，所述扫描振镜用于接收聚焦后的点光束，并带动点光束移动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述清洗机构的一侧设有除尘装置，所述除尘装置用于将清洗产生的气体及粉尘吸除并回收。

作为上述技术方案的进一步改进，所述移动模组包括X轴移动模块、Y轴移动模块和Z轴移动模块，所述Y轴移动模块设于工作台上，所述X轴移动模块设于Y轴移动模块上，所述Z轴移动模块设于X轴移动模块上，所述清洗机构设于Z轴移动模块上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述除尘装置设于Z轴移动模块上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述扫描振镜包括第一电机、第一扫描振镜片、第二电机和第二扫描振镜片，所述第一扫描振镜片设于第二扫描振镜片的上方，所述第一扫描振镜片用于接收聚焦后的点光束，所述第二扫描振镜片用于接收第一扫描振镜片上的点光束，所述第一电机驱动第一扫描振镜片摆动，所述第二电机用于驱动第二扫描振镜片摆动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述工作台上设有传输机构，所述清洗机构设于传输机构的上方。