[实用新型]环保的硅环干燥装置有效
申请号: | 202121789578.1 | 申请日: | 2021-08-02 |
公开(公告)号: | CN215490697U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 张佳琪 | 申请(专利权)人: | 江苏宏芯时代半导体有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B21/14;F26B25/00 |
代理公司: | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人: | 何源 |
地址: | 225411 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 环保 干燥 装置 | ||
1.一种环保的硅环干燥装置,包括用于干燥硅环的干燥室(1)、与所述干燥室(1)连接用于气化异丙醇的异丙醇加热器(2)、与所述干燥室(1)连接的氮气加热器(3),其特征在于:还包括与所述干燥室(1)连接用于液化异丙醇蒸汽的冷凝组件(4)、与所述冷凝组件(4)连接用于分离异丙醇和水的异丙醇蒸馏室(5)、与所述异丙醇蒸馏室(5)连接用于分离氮气和异丙醇气体的氮气回收组件(6),所述异丙醇蒸馏室(5)连接用于回收异丙醇的异丙醇回收管(7)。
2.根据权利要求1所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述氮气回收组件(6)包括与所述异丙醇蒸馏室(5)连接的氮气回收管(61)、与所述氮气回收管(61)缠绕连接的第二螺旋冷凝管(62)、与所述氮气回收管(61)连接的防水透气膜(63)、与所述氮气回收管(61)连接的第二抽吸器(64),所述氮气回收管(61)内安装氮气排放阀(65)。
3.根据权利要求2所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述氮气回收管(61)相对于地面斜朝上设置。
4.根据权利要求1所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述冷凝组件(4)包括连通所述干燥室(1)与所述异丙醇蒸馏室(5)的输送管(41)、与所述输送管(41)缠绕连接的第一螺旋冷凝管(42),所述输送管(41)安装用于控制异丙醇和氮气进出的排放阀(43)。
5.根据权利要求1所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述异丙醇回收管(7)内安装异丙醇排放阀(71)和第一抽吸器(72)。
6.根据权利要求5所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述异丙醇回收管(7)斜朝向地面设置。
7.根据权利要求1至6任一项所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述异丙醇蒸馏室(5)安装多组用于水溶异丙醇蒸汽的喷淋头(53)。
8.根据权利要求1至6任一项所述的环保的硅环干燥装置,其特征在于:所述干燥室(1)的底部倾斜设置并斜朝向所述冷凝组件(4)。
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