[实用新型]环保的硅环干燥装置

说明书

本实用新型公开了一种环保的硅环干燥装置，针对干燥后无法对异丙醇和氮气进行循环使用的问题，提供了以下技术方案，包括用于干燥硅环的干燥室、与干燥室连接用于气化异丙醇的异丙醇加热器、与干燥室连接的氮气加热器，还包括与干燥室连接用于液化异丙醇蒸汽的冷凝组件、与冷凝组件连接用于分离异丙醇和水的异丙醇蒸馏室、与异丙醇蒸馏室连接用于分离氮气和异丙醇气体的氮气回收组件，异丙醇蒸馏室连接用于回收异丙醇的异丙醇回收管，异丙醇和氮气经过冷凝组件进入异丙醇蒸馏室，分馏出异丙醇气体，氮气回收组件滤出氮气并收集，剩余的异丙醇进入异丙醇回收管中后收集。

技术领域

本实用新型涉及硅环清洗后的干燥工艺领域，更具体地说，它涉及一种环保的硅环干燥装置。

背景技术

硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，在电子行业中常作为半导体件，随着集成电路工艺向更高集成度发展，硅环作为半导体器件，对硅环质量的要求也更加苛刻，半导体器件生产中硅环须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，在清洗完成后，硅环表面往往会附带水膜，干燥后会在硅环上留下水纹。

目前，申请号为201420268737.7的中国专利公开了一种干燥硅片用异丙醇干燥装置，它包括石英缸、石英缸上盖、双层喷管、蒸汽腔、异丙醇加热器、液位传感器、氮气排放阀、异丙醇排放阀、压力表、异丙醇蒸汽供应阀、三通阀、异丙醇供应阀、氮气加热器、废液气收集腔。清洗完成后，通过机械吊臂夹持片盒将其放在干燥腔石英缸的底部，关闭石英缸上盖，打开异丙醇蒸汽供应阀，异丙醇蒸汽靠氮气携带从蒸汽腔进入双层喷管中，异丙醇蒸汽先进入双层喷管的细石英喷管，通过内管开孔喷出再进入双层喷管的粗石英喷管，在外管内回旋后再从外管的开孔喷出，干燥时通过双层喷管中喷出的异丙醇蒸汽，不断冷凝在硅片水膜表面，水膜在异丙醇低表面张力和重力作用下，顺着竖立放置的硅片表面滑落，打开三通阀将经过氮气加热器加热的热氮气从双层喷管中喷出，吹扫硅片表面，使残留的异丙醇受热蒸发，得到完全干燥的硅片，硅片上滑落的水和冷凝的异丙醇被收集到石英缸底部，沿着管路进入废液气收集腔。

这种干燥硅片用异丙醇干燥装置虽然能够通过异丙醇蒸汽对硅片进行干燥，但是在对硅片干燥完毕后，异丙醇和氮气会进入废液气收集腔后排出，既污染环境，又无法对异丙醇和氮气进行回收利用从而造成资源浪费，不符合环保的理念。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种环保的硅环干燥装置，具有能够循环利用的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种环保的硅环干燥装置，包括用于干燥硅环的干燥室、与所述干燥室连接用于气化异丙醇的异丙醇加热器、与所述干燥室连接的氮气加热器，还包括与所述干燥室连接用于液化异丙醇蒸汽的冷凝组件、与所述冷凝组件连接用于分离异丙醇和水的异丙醇蒸馏室、与所述异丙醇蒸馏室连接用于分离氮气和异丙醇气体的氮气回收组件，所述异丙醇蒸馏室连接用于回收异丙醇的异丙醇回收管。

采用上述技术方案，异丙醇加热器能够将异丙醇气化，气化后的异丙醇将硅环表面的水置换掉，氮气加热器能够将氮气加热并将附着在硅环表面的异丙醇吹干，完成硅环的干燥，冷凝组件能够将异丙醇气体液化后进入异丙醇蒸馏室进行异丙醇蒸馏分离，氮气回收组件能够将氮气和蒸馏出的异丙醇气体分离，从而分离出氮气进行回收，异丙醇回收管能够将蒸馏出的异丙醇进行回收，符合环保的理念，既减少了异丙醇排放对环境的污染，又能使异丙醇和氮气循环利用。

进一步，所述氮气回收组件包括与所述异丙醇蒸馏室连接的氮气回收管、与所述氮气回收管缠绕连接的第二螺旋冷凝管、与所述氮气回收管连接的防水透气膜、与所述氮气回收管连接的第二抽吸器，所述氮气回收管内安装氮气排放阀。

采用上述技术方案，第二螺旋冷凝管能够将蒸馏出的气态异丙醇液化，防水透气膜能够阻止异丙醇继续沿氮气回收管移动，第二抽吸器用于抽气并加快氮气的流动，氮气排放阀能够控制氮气和异丙醇气体在氮气回收管中的进出。

进一步，所述氮气回收管相对于地面斜朝上设置。