[实用新型]一种功率放大器

权利要求书

1.一种功率放大器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底包括第一有源区、第二有源区以及位于所述第一有源区和所述第二有源区外围的无源区；

设置于所述衬底上的电极，所述电极包括设置于所述第一有源区的第一基极、第一集电极和第一发射极、设置于所述第二有源区的第二基极、第二集电极和第二发射极；

依次设置于所述电极上的第一金属层和第二金属层，所述第一金属层包括基极互连金属层和发射极互连金属层，所述第二金属层包括集电极互连金属层和辅助互连金属层；

所述第一基极和所述第二基极通过基极互连金属层连接，所述第一集电极和所述第二集电极通过集电极互连金属层连接，所述第一发射极和所述第二发射极通过发射极互连金属层连接，所述辅助互连金属层与所述发射极互连金属层连接。

2.如权利要求1所述的功率放大器，其特征在于，所述发射极互连金属层包括发射极连接金属和位于所述无源区的发射极主金属，所述辅助互连金属层与所述发射极连接金属通过第一互连结构连接，所述第一发射极通过所述发射极连接金属和所述辅助互连金属层与所述发射极主金属连接，所述第二发射极通过所述发射极连接金属和所述辅助互连金属与所述发射极主金属连接。

3.如权利要求2所述的功率放大器，其特征在于，所述集电极互连金属层包括集电极连接金属和位于所述无源区的集电极主金属，所述第一集电极和所述第二集电极分别通过所述集电极连接金属与所述集电极主金属连接。

4.如权利要求1所述的功率放大器，其特征在于，还包括绝缘层，所述绝缘层位于所述第一金属层和所述第二金属层之间。

5.如权利要求2所述的功率放大器，其特征在于，在所述衬底的背面还设置有背面金属层，自所述衬底的一侧形成贯穿所述衬底的第二互连结构，所述发射极主金属通过所述第二互连结构与所述背面金属层连接。

6.如权利要求2所述的功率放大器，其特征在于，所述辅助互连金属层在所述衬底的正投影区域与所述发射极连接金属在所述衬底的正投影区域重合。

7.如权利要求2所述的功率放大器，其特征在于，所述辅助互连金属层在所述衬底的正投影区域小于所述发射极连接金属在所述衬底的正投影区域。

8.如权利要求3所述的功率放大器，其特征在于，所述集电极主金属在所述发射极连接金属与所述发射极主金属的连接处设置有容置空间，在所述容置空间至少用于容置所述辅助互连金属层。

9.如权利要求2所述的功率放大器，其特征在于，所述第一互连结构与所述发射极主金属的交叠区域在所述衬底的正投影为第一长方形，所述发射极连接金属在所述衬底的正投影为第二长方形，所述第一长方形的宽与所述第二长方形的宽的比值大于或等于1/2。

10.如权利要求1至9任一项所述的功率放大器，其特征在于，所述第一基极呈第一U形电极，所述第一集电极包括第一子集电极和第二子集电极，所述第一子集电极和所述第二子集电极分别位于所述第一发射极的相对侧，且所述第一子集电极和所述第二子集电极分别通过所述第一U形电极与所述第一发射极间隔设置；所述第二基极呈第二U形电极，所述第二集电极包括第三子集电极和第四子集电极，所述第三子集电极和所述第四子集电极分别位于所述第二发射极的相对侧，且所述第三子集电极和所述第四子集电极分别通过所述第二U形电极与所述第二发射极间隔设置。