[实用新型]一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳

权利要求书

1.一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在底盖下端的底座，以及盖设在外筒上端的上盖，其特征在于：所述外筒内设置有内筒，内筒的上端盖设有筒盖，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘，沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，且收集管穿过底盖并与支撑管贯通连接。

2.如权利要求1所述的一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，其特征在于：所述筒盖卡合在内筒的内壁上，且筒盖和内筒之间还设有密封圈。

3.如权利要求1所述的一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，其特征在于：所述收集管和支撑管之间套设有密封膜。

4.如权利要求1所述的一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，其特征在于：所述上盖的上端设置有加热顶座。

5.如权利要求1所述的一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，其特征在于：所述底座上设置有多个升降装置，且多个升降装置的上端均连接在上盖上。

6.如权利要求1所述的一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，其特征在于：所述外筒和内筒之间还设置有加热管，且加热管呈蛇形分布。